[發明專利]圖案制造裝置以及三維造型物制造裝置在審
| 申請號: | 201780094141.6 | 申請日: | 2017-11-14 |
| 公開(公告)號: | CN111033383A | 公開(公告)日: | 2020-04-17 |
| 發明(設計)人: | 大島英司;登本一孝;佐久間彰夫 | 申請(專利權)人: | 康達智株式會社 |
| 主分類號: | G03F7/20 | 分類號: | G03F7/20;B33Y10/00;B33Y30/00 |
| 代理公司: | 成都超凡明遠知識產權代理有限公司 51258 | 代理人: | 金相允;魏彥 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 圖案 制造 裝置 以及 三維 造型 | ||
本發明在各種尺寸的片上形成圖案。一種圖案制造裝置,具有:形成部,向圖案形成用片照射光線來形成圖案;造型臺,配置在形成部的上方,具有使光線穿過的第一開口部,并載置圖案形成用片;支柱,安裝造型臺;轉接件,設置于造型臺,具有將第一開口部的一部分堵住并使光線穿過的第二開口部,且載置圖案形成用片。
技術領域
本發明涉及一種圖案制造裝置。
背景技術
在上述技術領域中,專利文獻1公開了一種在規定的大小的片上形成電路圖案的技術。
現有技術文獻
專利文獻
專利文獻1:日本特開2006-319138號公報
發明內容
發明要解決的問題
但是,通過在上述文獻中記載的技術,無法在各種尺寸的片上形成圖案。
本發明的目的在于,提供一種解決上述課題的技術。
用于解決問題的手段
為了達成上述目的,本發明的圖案制造裝置具有:
形成單元,向圖案形成用片照射光線來形成圖案;
造型臺,配置在所述形成單元的上方,具有使所述光線穿過的第一開口部,并載置所述圖案形成用片;
支柱,安裝所述造型臺;
轉接件,設置于所述造型臺,載置所述圖案形成用片,并將所述圖案形成用片定位于所述第一開口部上。
發明的效果
根據本發明,能夠在各種尺寸的片上形成圖案。
附圖說明
圖1是對本發明的第一實施方式的圖案制造裝置的結構進行說明的側視立體圖。
圖2A是對本發明的第二實施方式的圖案制造裝置的整體結構進行說明的主視立體圖。
圖2B是對本發明的第二實施方式的圖案制造裝置的結構進行說明的局部放大側視立體圖。
圖3A是對本發明的第二實施方式的圖案制造裝置所使用的轉接件的使用例進行說明的立體圖。
圖3B是對本發明的第二實施方式的圖案制造裝置所使用的轉接件的一個例子進行說明的圖。
圖3C是對本發明的第二實施方式的圖案制造裝置所使用的轉接件的其他例子進行說明的圖。
圖3D是對本發明的第二實施方式的圖案制造裝置所使用的轉接件的又一其他例子進行說明的圖。
圖4是對本發明的第二實施方式的圖案制造裝置所使用的圖案形成片的圖案形成面進行說明的俯視圖。
圖5是對通過本發明的第二實施方式的圖案制造裝置形成三維造型物時的整體結構進行說明的主視立體圖。
圖6是對通過本發明的第二實施方式的圖案制造裝置制造三維造型物的情況進行說明的圖。
圖7A是對本發明的第三實施方式的圖案制造裝置所使用的轉接件的使用例進行說明的立體圖。
圖7B是對本發明的第三實施方式的圖案制造裝置所使用的轉接件的例子進行說明的圖。
具體實施方式
以下,參照附圖,例示性地對本發明的實施方式進行詳細的說明。但是,以下的實施方式所記載的結構、數值、處理流程、功能要素等僅為一個示例,可自由地對其進行變形或變更,而并非旨在將本發明的技術范圍限定在以下所記載的范圍內。
[第一實施方式]
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