[發明專利]在成像疊加計量中利用疊加錯位誤差估計

有效

• 申請號: 201780093820.1
• 申請日: 2017-10-22
• 公開（公告）號: CN111033382B
• 公開（公告）日: 2021-12-14
• 發明（設計）人: T·格林茨威格;N·古特曼;D·格瑞奧迪;M·吉諾烏克;V·萊溫斯基;C·E·斯坦納斯;N·雪渥爾;Y·帕斯卡維爾
• 申請（專利權）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 劉麗楠

1.一種計量方法，其包括：

從至少一個計量成像目標中的每一所關注區域的經分析測量計算疊加錯位誤差估計，及

導出目標質量矩陣，其中所述導出包括以下至少一者：

從多個計量成像目標的經計算疊加錯位誤差估計導出所述目標質量矩陣，且使用來自所述目標質量矩陣的值來選擇目標以進行未來測量，或

從多個計量成像目標的所述經計算疊加錯位誤差估計導出所述目標質量矩陣，且使用來自所述目標質量矩陣的值來加權對應晶片疊加圖，或

從多個計量成像目標的所述經計算疊加錯位誤差估計導出所述目標質量矩陣，且從所述目標質量矩陣導出過程校正，及

將所述經計算疊加錯位誤差估計并入在對應疊加錯位估計中，

其中所述計算、所述導出及所述并入是由至少一個計算機處理器實行。

2.根據權利要求1所述的方法，其中相對于所關注區域信號的不同分量計算所述疊加錯位誤差估計。

3.根據權利要求1所述的方法，其中相對于每一所關注區域的多個子區域計算所述疊加錯位誤差估計。

4.根據權利要求3所述的方法，其進一步包括從每一所關注區域的所述子區域的所述經計算疊加錯位誤差估計計算額外疊加錯位誤差估計。

5.根據權利要求1所述的方法，其進一步包括依據疊加錯位計算對比度誤差估計，及將經計算對比度誤差并入在所述對應疊加錯位估計中。

6.根據權利要求5所述的方法，其進一步包括從所述所關注區域的所述經計算疊加錯位誤差估計及所述對比度誤差計算每一所關注區域的加權疊加錯位誤差估計。

7.根據權利要求1所述的方法，其進一步包括從多個計量成像目標的所述經計算疊加錯位誤差估計導出錯位圖，及使所述錯位圖與過程圖相關以識別過程誤差。

8.根據權利要求1所述的方法，其進一步包括由疊加測量工具使用多個計量成像目標的所述經計算疊加錯位誤差估計來優化所述多個目標的取樣。

9.根據權利要求1所述的方法，其進一步包括將所述經計算疊加錯位誤差估計組合到至少一個測量保真度指示符中。

10.根據權利要求1所述的方法，其進一步包括基于所述經計算疊加錯位誤差估計而對于吞吐量可控制地權衡準確度。

11.一種非暫時性計算機可讀存儲媒體，所述非暫時性計算機可讀存儲媒體具有與其一起體現的計算機可讀程序，所述計算機可讀程序經配置以實行權利要求1所述的方法。

12.一種計量模塊，其包括根據權利要求11所述的非暫時性計算機可讀存儲媒體。

13.一種成像疊加計量系統，其包括：

疊加測量工具，其經配置以測量來自晶片上的多個計量成像目標中的每一者的多個所關注區域，及

疊加錯位估計模塊，其經配置以從所述所關注區域的經分析測量中的不同分量計算疊加錯位誤差估計，及

錯位模型化模塊，其經配置以將從所述疊加錯位估計模塊接收且基于所述經計算疊加錯位誤差估計的目標質量矩陣并入到所述疊加測量工具的晶片疊加圖中,

其中所述成像疊加計量系統經配置以將所述經計算疊加錯位誤差估計并入在對應疊加錯位估計中。

14.根據權利要求13所述的成像疊加計量系統，其中所述疊加錯位估計模塊進一步經配置以相對于每一所關注區域的多個子區域計算所述疊加錯位誤差估計，且從每一所關注區域的所述子區域的所述經計算疊加錯位誤差估計計算額外疊加錯位誤差估計。

15.根據權利要求13所述的成像疊加計量系統，其中所述疊加錯位估計模塊進一步經配置以依據疊加計算對比度誤差估計，且將經計算對比度誤差并入在所述對應疊加錯位估計中。