[發明專利]偏振器裝置以及具有偏振器裝置的EUV輻射產生設備

有效

• 申請號: 201780093027.1
• 申請日: 2017-07-12
• 公開（公告）號: CN110869825B
• 公開（公告）日: 2021-12-24
• 發明（設計）人: T·埃爾金
• 申請（專利權）人: 通快激光系統半導體制造有限公司
• 主分類號: G02B5/30
• 分類號: G02B5/30;H01S3/10;G02B27/28;B23K26/064
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 郭毅

1.一種偏振器裝置(1)，所述偏振器裝置用于使激光射束(2)偏振，所述偏振器裝置包括：

多個板狀光學元件(5，...，10；5，...，16)，所述多個板狀光學元件布置在所述激光射束(2)的射束路徑中，所述多個板狀光學元件分別具有用于所述激光射束(2)的射束入射面(5a，6a，...)以及用于所述激光射束(2)的射束出射面(5b，6b，...)，其中，相應的板狀光學元件(5，...，10；5，...，16)的所述射束入射面(5a，6a，...)相對于所述激光射束(2)以布魯斯特角(α_B)取向，

其中，所述板狀光學元件(5，...，10；5，...，16)的所述射束入射面(5a，6a，...)與所述射束出射面(5b，6b，...)彼此分別以至少一個不等于零的楔角(γ₁，γ₂)取向，

其特征在于，

在至少一個板狀光學元件(6，8，10)中，第一楔角(γ₁)位于所述激光射束(2)到所述光學元件(6，8，10)的所述射束入射面(5a，6a，...)上的入射平面(XY)中，并且在所述偏振器裝置中，第二楔角(γ₂)位于垂直于所述激光射束(2)的所述入射平面(XY)延伸的平面(XZ)中。

2.根據權利要求1所述的偏振器裝置，在所述偏振器裝置中，在至少一個板狀光學元件(5，...，10)中，所述楔角(γ₁)位于所述激光射束(2)到所述射束入射面(5a，6a，...)上的入射平面(XY)中。

3.根據權利要求1或2所述的偏振器裝置，在所述偏振器裝置中，在至少一個板狀光學元件(5，...，10)中，所述楔角(γ₂)位于如下平面(XZ)中：所述平面垂直于所述激光射束(2)到所述射束入射面(5a，6a，...)上的入射平面(XY)延伸。

4.根據權利要求1或2所述的偏振器裝置，在所述偏振器裝置中，滿足以下兩種情況中的至少一種：

所述板狀光學元件(5，...，10；5，...，16)在所述激光射束(2)到相應的射束入射面(5a，6a，...)上的入射平面(XY)中分別具有相同的楔角(γ₁)；

所述板狀光學元件在垂直于所述激光射束(2)的入射平面(XY)延伸的平面(XZ)中分別具有相同的楔角(γ₂)。

5.根據權利要求1或2所述的偏振器裝置，在所述偏振器裝置中，所述至少一個楔角(γ₁，γ₂)小于1.0°。

6.根據權利要求1或2所述的偏振器裝置，在所述偏振器裝置中，在入射的激光射束(2)的射束方向(3)上，在所述射束路徑中彼此相繼的各兩個板狀光學元件(5，6；6，7；...)彼此具有小于5mm的最小間距(A)。

7.根據權利要求1或2所述的偏振器裝置，在所述偏振器裝置中，在所述激光射束(2)的射束路徑中彼此相繼的至少兩個板狀光學元件(5，6)中，所述射束入射面(5a，6a)與所述射束出射面(5b，6b)彼此不平行地取向。

8.根據權利要求1或2所述的偏振器裝置，在所述偏振器裝置中，在所述激光射束(2)的射束路徑中彼此相繼的至少兩個板狀光學元件(5，...，10)以所述板狀光學元件的處于共同的平面(XY)中的楔角(γ₁)同向地取向。

9.根據權利要求8所述的偏振器裝置，在所述偏振器裝置中，在所述激光射束(2)的射束路徑中彼此相繼的、同向地取向的至少三個板狀光學元件(5，...10)分別相對于彼此轉過相同的旋轉角(δ₁)。