[發明專利]分束器組件

有效

• 申請號: 201780087913.3
• 申請日: 2017-05-01
• 公開（公告）號: CN110383131B
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發明（設計）人: 馬路健
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00;G02B7/198;G02B7/182
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

在分束器組件(7)中，分束器(22)被第1隔片(24)的3個彎折部(41)三點支承。因此，能夠避免分束器(22)受到保持件(21)的表面精度的影響。另外，在分束器組件(7)中，第1隔片(24)與分束器(22)的周緣部相對。并且，各彎折部(41)通過彎折各外側突出片而構成。因此，能夠抑制第1隔片(24)的外形比分束器(22)的外形大。并且，能夠抑制用于設置第1隔片(24)的保持件(21)的尺寸較大。其結果，能夠實現分束器組件(7)的小型化。

技術領域

本發明涉及一種包括分束器和用于保持該分束器的保持件的分束器組件。

背景技術

以往，在FT-IR(傅立葉變換紅外分光光度計)等分光光度計中，使用分束器。在FT-IR中，自光源射出的光經由分束器而被固定鏡和移動鏡反射。然后，被固定鏡反射的光和被移動鏡反射的光發生干涉，干涉的光朝向試樣照射(例如，參照下述專利文獻1)。

這樣的分束器通常通過保持于保持件等而固定于恒定位置。

圖7是表示以往的分束器組件100的結構的立體圖。圖8是分束器組件100的分解立體圖。分束器組件100是包含分束器101和保持件102等的一體的單元，用于FT-IR等。

分束器組件100包括分束器101、保持件102、隔片103、補償板104以及1對固定板105。

分束器101形成為圓板狀。

保持件102形成為具有預定的厚度(比分束器101的厚度大的厚度)的平板狀。在保持件102的中央部形成有開口102a。在保持件102的內周面(形成有開口102a的部分的內周面)設有凸緣102b。

隔片103包括形成為圓環狀的環狀部103a和自環狀部103a的內緣部向徑向內側突出的3個突出片103b。

補償板104形成為圓板狀。

各固定板105形成為圓環狀。

在組裝分束器組件100時，將分束器101從保持件102的開口102a的一側(圖8中的左側)向內側插入，并且將補償板104從保持件102的開口102a的另一側(圖8中的右側)向內側插入。此時，在凸緣102b與分束器101之間配置有隔片103。在該狀態下，在保持件102的兩側(圖8中的左右方向兩側)固定1對固定板105，從而使分束器101和補償板104分別被固定板105按壓而固定于保持件102。

通常，分束器需要具有使用的波長的1/10以下的表面精度以避免干擾反射光的波面。因此，以較高的精度加工分束器101。另一方面，以切削加工等成本較低的方法加工保持件102。因此，若使分束器101直接固定(壓靠)于保持件102，則分束器101受到凸緣102b的加工精度的影響而變形，其表面精度降低。

從這樣的方面考慮，在分束器組件100中，如上所述，在凸緣102b與分束器101之間夾設隔片103。因此，即使在保持件102的加工精度較低的情況下，也能夠使分束器101不變形地固定于保持件102。

圖9是概略地表示沿著分束器101的厚度方向觀察時的分束器101和隔片103的配置關系的圖。

分束器101在固定于保持件102的狀態下抵接于隔片103的3個突出片103b。即，分束器101以在三點被支承的狀態固定。這樣，通過在三點支承分束器101，能夠抑制分束器101受到保持件102(凸緣102b)的表面精度的影響而變形，并且能夠將分束器101保持于穩定的狀態。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本實用新型授權第3174573號公報

發明內容