[發明專利]配管系統的導熱覆蓋體和加熱裝置及其制造方法和安裝方法

有效

• 申請號: 201780086693.2
• 申請日: 2017-02-16
• 公開（公告）號: CN110382941B
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發明（設計）人: 山下香
• 申請（專利權）人: 霓佳斯株式會社
• 主分類號: F16L53/30
• 分類號: F16L53/30;F16L53/38;F16B19/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 任玉敏

本發明提供一種能夠提高安裝、拆卸的操作性的導熱覆蓋體。導熱覆蓋體(10)具有形成有連結孔(11c)的第一導熱部件(11)和形成有連結孔(12c)的第二導熱部件(12)。而且，導熱覆蓋體(10)具有連結部件(13)，該連結部件(13)具有插入連結孔(11c)的第一插入部(13a)和插入連結孔(12c)的第二插入部(13b)。插入部(13a、13b)中的至少一方能夠在相對于連結部件(13)的插入方向正交的方向上彈性變形。

技術領域

本發明涉及覆蓋由配管、與配管連接的閥等構成的配管系統的導熱覆蓋體、以及加熱配管系統的加熱裝置。

背景技術

在具備供氣體、液體等流體流動的配管的裝置(例如半導體的制造裝置) 中，為了將流體保持為高溫，有時在配管的外側安裝加熱器。在利用直徑較小的配管的情況下，由于加熱器沒有緊貼在配管的外側，因此，配管的一部分的溫度變低，存在配管整體的溫度不能均勻化的情況。為了防止該情況，以往，有時通過由鋁等導熱率較高的材料形成的塊來覆蓋配管的外側，并通過加熱器覆蓋塊的外側的情況(例如，下述專利文獻1，在此將該塊稱為“覆蓋塊”)。覆蓋塊為圓筒狀，在其內側配置有配管。根據該構造，能夠比較容易地使加熱器緊貼于覆蓋塊，因此容易使配管整體的溫度均勻化。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2007-2986號公報

發明內容

發明要解決的課題

覆蓋塊由分別具有圓筒的一半的形狀的兩個部件構成(在此，將該部件稱為“塊半體”)。這兩個塊半體結合而構成圓筒狀的覆蓋塊。在兩個塊半體的結合中，使用了包圍覆蓋塊的外側的環、螺釘等固定工具。但是，在利用這樣的固定工具的構造中，包覆塊的安裝、拆卸的操作性不好。

本發明的一個目的在于提供能夠提高安裝、拆卸的操作性的導熱覆蓋體、加熱裝置、導熱覆蓋體的制造方法及其安裝方法、以及加熱裝置的制造方法及其安裝方法。

用于解決課題的手段

用于解決所述課題的導熱覆蓋體具有：第一導熱部件，用于覆蓋配管系統，由金屬形成，具有形成有第一孔的第一面；第二導熱部件，用于與所述第一導熱部件結合而覆蓋所述配管系統，由金屬形成，具有與第一面相面對且形成有第二孔的第二面；以及連結部件，具有插入到所述第一孔的第一插入部和插入到所述第二孔的第二插入部，使所述第一導熱部件和所述第二導熱部件結合。所述第一插入部和所述第二插入部中的至少一個插入部能夠在與所述連結部件的插入方向正交的方向上彈性變形。根據該導熱覆蓋體，能夠提高導熱部件的安裝、拆卸的操作性。

用于解決所述課題的加熱裝置具有：所述導熱覆蓋體；以及覆蓋所述導熱覆蓋體且通過所述導熱覆蓋體來加熱所述配管系統的加熱器。根據該加熱裝置，能夠提高導熱部件的安裝、拆卸的操作性。

用于解決所述問題的導熱覆蓋體的制造方法及其安裝方法如下所述。這些方法所涉及的導熱覆蓋體具備：第一導熱部件，用于覆蓋配管系統，由金屬形成，具有形成有第一孔的第一面；第二導熱部件，用于與所述第一導熱部件結合而覆蓋所述配管系統，由金屬形成，具有與第一面相面對且形成有第二孔的第二面；以及連結部件，具有插入到所述第一孔的第一插入部和插入到所述第二孔的第二插入部。

所述導熱覆蓋體的制造方法具有如下工序：將所述第一插入部插入所述第一孔，由此以能夠在相對于所述第一插入部的插入方向正交的方向上彈性變形的第二插入部從所述第一面突出的方式，將所述連結部件安裝于所述第一導熱部件。

所述導熱覆蓋體的安裝方法具有如下工序：在所述第一插入部插入所述第一孔，以能夠在相對于所述第一插入部的插入方向正交的方向上彈性變形的所述第二插入部從所述第一面突出的方式將所述連結部件安裝于所述第一導熱部件的狀態下，為了使所述第一導熱部件和所述第二導熱部件以覆蓋所述配管系的方式結合，而將所述第二插入部插入所述第二導熱部件的所述第二孔。