[發明專利]表面增強紅外吸收臺

有效

• 申請號: 201780085266.2
• 申請日: 2017-01-31
• 公開（公告）號: CN110268250B
• 公開（公告）日: 2022-03-04
• 發明（設計）人: 福斯托·德阿普佐;亞歷山大·波利亞科夫;安妮塔·羅加斯
• 申請（專利權）人: 惠普發展公司;有限責任合伙企業
• 主分類號: G01N21/63
• 分類號: G01N21/63;G01N21/65;B82Y99/00
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 史迎雪;康泉

表面增強紅外吸收臺可以包括基板、從基板延伸的靜態島以及從基板延伸的可移動納米指狀物。靜態島可以具有等離子體活性島帽以及至少一微米的與基板平行的維度?？梢苿蛹{米指狀物可以與維度對齊?？梢苿蛹{米指狀物可以具有可閉合到距島帽小于或等于5nm的等離子體活性指狀物帽。

背景技術

表面增強紅外吸收(SEIRA)有時用于分析諸如無機材料和復雜的有機分子的分析物的結構。SEIRA將紅外輻射或光聚焦到分析物上，其中光與分析物之間的相互作用被檢測以用于分析。

附圖說明

圖1是示意性地圖示示例SEIRA臺的一部分的側視圖。

圖2是用于形成示例SEIRA臺的示例方法的流程圖。

圖3是示意性地圖示示例SEIRA感測系統的一部分的側視圖。

圖4是另一示例SEIRA臺的一部分的透視圖。

圖5是圖4的示例SEIRA臺的俯視圖。

圖6是另一示例SEIRA臺的一部分的俯視圖。

圖7是另一示例SEIRA臺的一部分的俯視圖。

圖8是另一示例SEIRA臺的一部分的俯視圖。

圖9是另一示例SEIRA臺的一部分的俯視圖。

圖10是示意性地圖示示例SEIRA/表面增強拉曼光譜(SERS)感測系統的一部分的側視圖。

整個附圖中，相同的附圖標記標示相似但不一定相同的要素。附圖不一定是按比例的，并且可以夸大某些部件的尺寸以更清楚地說明所示示例。此外，附圖提供了與描述一致的示例和/或實現；然而，描述并不限于附圖中提供的示例和/或實現。

具體實施方式

SEIRA利用相鄰的導電表面或金屬表面之間的能量定位間隙(energylocalization gaps)。減小間隙的尺寸可以增強性能。本文中公開的是SEIRA臺的示例，該SEIRA臺的示例提供用于強能量定位/強信號強度的、小的、受控的自限制單數位納米(self-limited single digit nanometer)間隙，同時制造更經濟的。

示例SEIRA臺包括柔性納米指狀物和更寬的突出島(protruding island)。島表現出有利于在紅外波長下操作的足跡。納米指狀物是柔性的，以便朝向島傾斜以創建小于或等于5nm并且小至1至2nm的自限制納米間隙，創建導致強光譜信號響應的高光能濃度的熱點。由于納米間隙由納米指狀物和島的閉合形成，因此納米指狀物和島之間的納米間隙的尺寸并不完全取決于制造密度或分辨率，有利于低成本制造技術。

本文中公開了示例SEIRA臺，該示例SEIRA臺可以包括基板、從基板延伸的靜態島以及從基板延伸的可移動納米指狀物。靜態島可以具有等離子體活性島帽以及至少一微米的與基板平行的維度?？梢苿蛹{米指狀物可以與維度對齊。可移動納米指狀物可以具有可閉合到距島帽小于或等于5nm的等離子體活性指狀物帽。

本文中公開了使用SEIRA分析分析物的示例方法。該方法可以包括將分析物施加到SEIRA臺。SEIRA臺可以包括基板、從基板延伸的靜態島以及從基板延伸的可移動納米指狀物。靜態島可以具有等離子體活性島帽以及至少一微米的與基板平行的維度?？梢苿蛹{米指狀物可以與維度對齊?？梢苿蛹{米指狀物可以具有可閉合到距島帽小于或等于5nm的等離子體活性指狀物帽。該方法可以進一步包括：朝向島帽閉合指狀物帽，照射指狀物帽和島帽，以及感測紅外吸收以分析分析物。