[發明專利]接合裝置以及接合對象物的高度檢測方法

有效

• 申請號: 201780084465.1
• 申請日: 2017-07-27
• 公開（公告）號: CN110249199B
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發明（設計）人: 早田滋;富山弘己
• 申請（專利權）人: 株式會社新川
• 主分類號: G01B11/03
• 分類號: G01B11/03;G02B7/28;H01L21/52;H01L21/60
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊文娟;臧建明

1.一種接合裝置，其特征在于，包括：

光學系統，使具有特定圖案的接合對象物的像成像；

攝像元件，獲取所述光學系統所成像的像作為圖像；

照明單元，包含多個光源，通過所述光學系統的光路對所述接合對象物進行照明；以及

控制部，進行所述攝像元件所獲取的所述圖像的處理；并且

所述控制部是

通過所述光學系統的朝向所述接合對象物的第一光路對所述接合對象物進行照明并利用所述攝像元件獲取所述接合對象物的所述特定圖案作為第一圖案圖像，

通過相對于所述第一光路而傾斜的第二光路對所述接合對象物進行照明并利用所述攝像元件獲取所述接合對象物的所述特定圖案作為第二圖案圖像，

基于所述第一圖案圖像與所述第二圖案圖像的位置偏移量計算所述接合對象物的自基準面算起的高度的變化量。

2.根據權利要求1所述的接合裝置，其特征在于，

所述控制部是

通過使所述照明單元內配置在第一位置的第一光源點亮，使其他光源熄滅，而通過所述第一光路對所述接合對象物進行照明并利用所述攝像元件獲取所述第一圖案圖像，

通過使配置在與所述第一位置不同的第二位置的第二光源點亮，使其他光源熄滅，而通過所述第二光路對所述接合對象物進行照明并利用所述攝像元件獲取所述第二圖案圖像。

3.根據權利要求1所述的接合裝置，其特征在于，

所述第一光路是相對于所述光學系統的朝向所述接合對象物的第一部分的光軸傾斜的第一傾斜光路，

所述第二光路是相對于所述第一部分的光軸朝向與所述第一傾斜光路相反之側傾斜的第二傾斜光路，

所述控制部是

通過使所述照明單元內配置在自所述第一部分的光軸偏心的第一位置的第一光源點亮，使其他光源熄滅，而通過所述第一傾斜光路對所述接合對象物進行照明并利用所述攝像元件獲取所述第一圖案圖像，

通過使配置在相對于所述第一部分的光軸與所述第一位置為相反側的第二位置的第二光源點亮，使其他光源熄滅，而通過所述第二傾斜光路對所述接合對象物進行照明并利用所述攝像元件獲取所述第二圖案圖像。

4.根據權利要求1所述的接合裝置，其特征在于，

所述第一光路是沿所述光學系統的朝向所述接合對象物的第一部分的光軸的垂直光路，

所述第二光路是相對于所述第一部分的光軸傾斜的第二傾斜光路，

所述控制部是

通過使所述照明單元內與所述第一部分的光軸同軸地配置的第一光源點亮，使其他光源熄滅，而通過所述垂直光路對所述接合對象物進行照明并利用所述攝像元件獲取所述第一圖案圖像，

通過使配置在與所述第一部分的光軸相離的第二位置的第二光源點亮，使其他光源熄滅，而通過所述第二傾斜光路對所述接合對象物進行照明并利用所述攝像元件獲取所述第二圖案圖像。

5.根據權利要求1所述的接合裝置，其特征在于，

所述第一光路是相對于所述光學系統的朝向所述接合對象物的第一部分的光軸傾斜的第一傾斜光路，

所述第二光路是相對于所述第一部分的光軸朝向與所述第一傾斜光路相反之側傾斜的第二傾斜光路，

所述接合裝置包含遮蔽板，所述遮蔽板是自中心偏心地設置有使來自所述照明單元的光透過的孔，所述中心與所述光學系統的所述第一部分的光軸為同軸，能夠圍繞著所述第一部分的光軸旋轉，

所述控制部在使所述照明單元點亮，而獲取所述第一圖案圖像時，使所述孔位于自所述第一部分的光軸偏心的第一位置，在獲取所述第二圖案圖像時，使所述孔位于相對于所述第一部分的光軸與所述第一位置為相反側的第二位置。