[發明專利]薄膜壓電致動器

有效

• 申請號: 201780082122.1
• 申請日: 2017-07-15
• 公開（公告）號: CN110121422B
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發明（設計）人: 熊偉;何飛;飯島淳
• 申請（專利權）人: 新科實業有限公司
• 主分類號: B41J2/045
• 分類號: B41J2/045
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫

1.一種壓電裝置，包括：

壓力腔室形成層、設置在所述壓力腔室形成層上并與所述壓力腔室形成層相連接以構成壓力腔室的振動片、以及設置在所述振動片上并用于在施加電場時發生一體地變形以驅動所述振動片運動以改變所述壓力腔室的體積的壓電元件；

其特征在于：所述振動片完全覆蓋地設置于所述壓力腔室上，所述壓電元件位于所述振動片上并覆蓋在所述振動片的一部分上，使得所述振動片上的所述壓電元件部分地覆蓋所述壓力腔室，并且

所述壓電元件具有相對設置的兩個端部，兩個所述端部分別延伸出所述壓力腔室的邊緣之外，并覆蓋在構成所述壓力腔室的側壁的所述壓力腔室形成層上，從而兩個所述端部能得到所述壓力腔室形成層的支撐，使得在所述壓電元件發生變形時，兩個所述端部不會發生反向運動，并且所述壓電元件整體在相同方向上運動；

其中，所述壓電元件為單層薄膜壓電元件，或為疊放設置的兩層以上所述薄膜壓電元件；

其中，所述薄膜壓電元件的厚度小于5μm；

所述壓電元件包括壓電層和電極，所述電極設置于所述壓電層的上下兩側。

2.如權利要求1所述的壓電裝置，其特征在于：所述壓力腔室的長度大于寬度，相對設置的兩個所述端部之間的連線與所述壓力腔室的寬度方向之間的夾角大于0度。

3.如權利要求2所述的壓電裝置，其特征在于：相對設置的兩個所述端部之間的連線與所述壓力腔室的長度方向平行。

4.如權利要求2所述的壓電裝置，其特征在于：相對設置的兩個所述端部之間的連線與所述壓力腔室的長度方向之間的夾角小于20度。

5.如權利要求2所述的壓電裝置，其特征在于：所述壓力腔室為長條形或橢圓形。

6.如權利要求1所述的壓電裝置，其特征在于：所述壓力腔室的長度等于寬度。

7.如權利要求6所述的壓電裝置，其特征在于：所述壓力腔室為正方形或圓形。

8.如權利要求1-7任一項所述的壓電裝置，其特征在于：所述壓電元件覆蓋所述壓力腔室的中心點。

9.如權利要求1所述的壓電裝置，其特征在于：所述振動片由Si、SiO₂、Si₃N₄、多晶硅、PZT中任一種材料或多種材料的結合構成。

10.如權利要求1所述的壓電裝置，其特征在于：所述振動片形成膜結構。

11.如權利要求1所述的壓電裝置，其特征在于：兩層以上的所述薄膜壓電元件被配置為能夠沿著相同的方向驅動所述振動片。

12.如權利要求1所述的壓電裝置，其特征在于：所述壓電元件包括至少兩個所述壓電層，任意相鄰的兩個所述壓電層共享位于其間的所述電極。

13.如權利要求1所述的壓電裝置，其特征在于：所述壓電元件還具有至少一個延伸部，所述延伸部延伸出所述壓力腔室的邊緣之外并覆蓋在所述壓力腔室形成層上。

14.如權利要求13所述的壓電裝置，其特征在于：所述壓電元件包括至少兩個相對設置的延伸部。

15.如權利要求13或14所述的壓電裝置，其特征在于：所述壓力腔室的長度大于寬度，所述延伸部沿著與所述壓力腔室的寬度方向平行的方向延伸。