[發明專利]用于基于熱的質量流量控制器(MFCS)的增強流量檢測可重復性的方法及設備

在審

• 申請號: 201780079680.2
• 申請日: 2017-11-15
• 公開（公告）號: CN110100218A
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發明（設計）人: 徐明;蘇斯漢特·S·科希特;邁克爾·R·賴斯;史蒂文·E·巴巴揚;詹妮弗·Y·孫
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: G05D7/06
• 分類號: G05D7/06;G01F1/76;G01F15/02
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

電子裝置制造系統包括具有熱流量傳感器的質量流量控制器(MFC)。熱流量傳感器可測量質量流率并且可包括傳感器管，所述傳感器管具有涂覆有材料的內表面以形成內阻擋層。內阻擋層可防止或實質上減少在內表面上發生腐蝕性反應的可能性，此可防止或減少MFC漂移超出MFC的質量流率準確性規格的可能性。此可改善由MFC進行的流量檢測的可重復性。亦提供了在電子裝置制造系統中測量和控制質量流率的方法，其他方面也是如此。

相關申請

本申請案主張于2016年12月31日所提交的標題為“METHODS AND APPARATUS FORENHANCED FLOW DETECTION REPEATABILITY OF THERMAL-BASED MASS FLOW CONTROLLERS(MFCS)”的美國正式專利申請案第15/396,619號的優先權(代理人案卷第24591/USA號)，出于各種目的通過引用方式將所述美國正式專利申請案的全部內容并入本文。

技術領域

本公開涉及電子裝置制造，并且更具體地涉及其中所使用的質量流量控制器。

背景技術

電子裝置制造系統可包括一或多個質量流量控制器(MFC)。MFC測量和控制用于制造電子裝置的處理氣體的質量流率。處理氣體可包括可輸送到一或多個處理腔室的(例如)清潔氣體、沉積氣體及蝕刻劑氣體，以及其他氣體，在所述處理腔室中可在半導體晶片、玻璃板或類似的基板上制造電子電路。在一些電子裝置制造系統中，為了產生具有(例如)微觀小尺寸的電子裝置，可能需要精確地以高達(例如)+/-1％的質量流率準確度來輸送處理氣體。盡管一些質量流量控制器(MFC)可以能夠初始地提供如此高的質量流率準確度以及其他準確度容差(tolerance)，但隨著時間，一些MFC可能經歷“漂移”或偏移它們所指定的質量流率準確度，此可能超過它們所指定的容差。此可能對正在制造的電子裝置的生產造成不利影響。因此，需要改進的MFC。

發明內容

根據第一方面，提供了一種質量流量控制器。質量流量控制器包括入口端口、出口端口、熱流量傳感器、流率控制閥及控制器。熱流量傳感器經配置以測量流過質量流量控制器的氣體的質量流率。熱流量傳感器具有傳感器管，及傳感器管具有耦接到入口端口的輸入端。傳感器管亦具有輸出端、內表面及外表面。內表面涂覆有材料以形成內阻擋層。流率控制閥耦接在傳感器管的輸出端與出口端口之間。流率控制閥經配置以增加或減少流過質量流量控制器的氣體的質量流率。控制器經配置以接收來自熱流量傳感器的傳感器信息及操作流率控制閥。

根據第二方面，提供了一種電子裝置制造系統。電子裝置制造系統包括處理腔室、氣體輸送系統及系統控制器。處理腔室具有基板支撐件，及氣體輸送系統包括氣體供應和質量流量控制器。質量流量控制器包括具有傳感器管的熱流量傳感器。傳感器管具有輸入端、輸出端、內表面及外表面。內表面涂覆有材料以形成內阻擋層。系統控制器經配置以操作處理腔室和氣體輸送系統。

根據第三方面，提供了一種在電子裝置制造系統中測量和控制質量流率的方法。所述方法包括提供包括具有傳感器管的熱流量傳感器的質量流量控制器。傳感器管具有輸入端、輸出端、內表面及外表面。內表面涂覆有材料以形成內阻擋層。所述方法亦包括經由熱流量傳感器來測量質量流率，及回應于測量而經由質量流量控制器根據需要來調整質量流率。

根據以下的詳細描述、所附權利要求書及附圖，根據本公開的這些和其他實施方式的其他方面、特征及優點可以是顯而易見的。因此，將本案的附圖和描述在本質上認為是說明性的，而不是限制性的。

附圖說明

下面所描述的附圖僅用于說明目的，并不一定按比例繪制。附圖并不意圖以任何方式限制本公開的范圍。

圖1示出了根據本公開的實施方式的電子裝置制造系統。

圖2示出了根據本公開的實施方式的電子裝置制造系統的質量流量控制器。