[發明專利]包含金屬氧化物納米粒子和有機聚合物的旋轉涂布材料組合物

有效

• 申請號: 201780079384.2
• 申請日: 2017-12-19
• 公開（公告）號: CN110100206B
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發明（設計）人: M·D·拉曼;姚暉蓉;趙俊衍;M·派德曼娜斑;E·沃爾福
• 申請（專利權）人: 默克專利有限公司
• 主分類號: G03F7/09
• 分類號: G03F7/09;H01L21/027;H01L21/033;H01L21/308;H01L21/311
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 夏正東

1.一種涂料組合物，包含有機溶劑、在這種有機溶劑中分散的金屬氧化物納米粒子、在這種溶劑中溶解的高碳聚合物，其中所述高碳聚合物包括結構(1)的重復單元、結構(2)的羥基聯苯基重復單元和結構(3)的含稠合芳族部分的部分，其中R₁和R₂獨立地選自氫、烷基和取代烷基，Ar是未取代或取代的稠合芳環，和X₁是亞烷基間隔基，或直接價鍵

2.權利要求1的涂料組合物，其中所述高碳聚合物包括用結構(4)表示的單元，其中A具有結構(3)，B具有結構(1)和C具有結構(2)

3.權利要求1的涂料組合物，其中在結構(3)中X₁是亞烷基間隔基。

4.權利要求1的涂料組合物，其中在結構(3)中X₁是直接價鍵。

5.權利要求1的涂料組合物，其中所述稠合芳族部分具有結構(3a)

[-Ar-CH₂-] (3a)。

6.權利要求1的組合物，其中所述含稠合芳族的部分具有結構(3b)

7.權利要求1的組合物，其中所述含稠合芳族的部分，Ar，是稠合芳環且X₁是直接價鍵。

8.權利要求1的組合物，其中所述含稠合芳族的部分，Ar，具有2至5個芳環且X₁是直接價鍵。

9.權利要求1的組合物，其中所述高碳聚合物進一步包括結構(5)的單元，其中Ar′是具有2至5個芳環的稠合芳環

10.權利要求1的組合物，其中所述高碳聚合物結構(1)具有結構(1a)

11.權利要求1的組合物，其中所述高碳聚合物結構(2)具有結構(2a)

12.權利要求1的組合物，其中所述金屬氧化物納米粒子選自氧化鋯納米粒子、氧化鉿納米粒子、氧化鋁納米粒子、氧化 鎢納米粒子、氧化鈦納米粒子、氧化銅納米粒子、氧化亞銅納米粒子、氧化錫納米粒子、氧化鈰納米粒子、氧化錫銦納米粒子、氧化鋅納米粒子、氧化釔納米粒子、氧化鑭納米粒子和氧化銦納米粒子。

13.權利要求1的組合物，其中所述組合物包含5wt％至20wt％的金屬氧化物納米粒子。

14.權利要求1的組合物，其中所述組合物包含1wt％至20wt％的高碳聚合物。

15.權利要求1的組合物，其中所述金屬氧化物納米粒子對高碳聚合物的重量比范圍為50:50至99:1。

16.在基底上涂布硬掩模組合物的方法，該方法包括步驟a)至b)：

a)施加權利要求1的組合物到基底上以形成硬掩模膜；和

b)烘烤該硬掩模膜。

17.權利要求16的方法，其中所述基底是含形貌特征的構圖基底，和硬掩模組合物的涂層覆蓋所述形貌，和進一步其中在步驟b)中在烘烤該膜之后，該方法進一步包括步驟c)：

c)采用化學剝離劑或利用氟化等離子體蝕刻，去除覆蓋構圖基底頂部的硬掩模膜。