[發(fā)明專利]極性彈性體微結(jié)構(gòu)及其制造方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780078835.0
• 申請(qǐng)日: 2017-12-19
• 公開（公告）號(hào): CN110392938A
• 公開（公告）日: 2019-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: R·G·曼利;K·梅羅特拉;B·J·帕多可;R·瓦迪;N·Z·哲勒夫;朱斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/00
• 分類號(hào): H01L51/00
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 張璐;項(xiàng)丹

1.一種制造極性彈性體的微結(jié)構(gòu)的方法，所述方法包括：

用包含極性彈性體的電介質(zhì)材料涂覆基材；

用光致抗蝕劑涂覆電介質(zhì)材料；

使光致抗蝕劑通過光掩模暴露于紫外(UV)光，以在光致抗蝕劑上限定圖案；

對(duì)光致抗蝕劑進(jìn)行顯影以在光致抗蝕劑上形成圖案；

對(duì)電介質(zhì)材料進(jìn)行蝕刻以將圖案從光致抗蝕劑轉(zhuǎn)移到電介質(zhì)材料；以及

從經(jīng)過圖案化的電介質(zhì)材料移除光致抗蝕劑。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，所述方法還包括：

在對(duì)光致抗蝕劑進(jìn)行顯影之后并在對(duì)電介質(zhì)材料進(jìn)行蝕刻之前，對(duì)光致抗蝕劑進(jìn)行后烘。

3.如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的方法，其包括：在整個(gè)過程期間，將光致抗蝕劑維持在低于光致抗蝕劑的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的溫度。

4.如權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的方法，其包括：在整個(gè)過程期間，將基材、電介質(zhì)材料和光致抗蝕劑維持在低于200℃的溫度。

5.如權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的方法，其包括：在整個(gè)過程期間，將光致抗蝕劑維持在低于約125℃的溫度。

6.如權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的方法，其中，所述蝕刻包括：

使用等離子體或反應(yīng)離子蝕刻工具中的至少一種對(duì)電介質(zhì)材料進(jìn)行干法蝕刻。

7.如權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的方法，其中，極性彈性體包括含氟彈性體。

8.如權(quán)利要求7所述的方法，其中，極性彈性體包括聚(偏二氟乙烯-共-六氟丙烯)(e-PVDF-HFP)。

9.如權(quán)利要求7或權(quán)利要求8所述的方法，其中，極性彈性體具有雙層電容性質(zhì)。

10.一種制造極性彈性體的微結(jié)構(gòu)的方法，所述方法包括：

用包含極性彈性體的電介質(zhì)材料涂覆基材；

用金屬涂覆電介質(zhì)材料；

用光致抗蝕劑涂覆金屬；

使光致抗蝕劑通過光掩模暴露于紫外(UV)光，以在光致抗蝕劑上限定圖案；

對(duì)光致抗蝕劑進(jìn)行顯影以在光致抗蝕劑上形成圖案；

對(duì)金屬進(jìn)行蝕刻以將圖案從光致抗蝕劑轉(zhuǎn)移到金屬；以及

從經(jīng)過圖案化的金屬移除光致抗蝕劑。

11.如權(quán)利要求10所述的方法，所述方法還包括：

對(duì)電介質(zhì)材料進(jìn)行蝕刻以將圖案從金屬轉(zhuǎn)移到電介質(zhì)材料。

12.如權(quán)利要求10或權(quán)利要求11所述的方法，其還包括：

從經(jīng)過圖案化的電介質(zhì)材料移除經(jīng)過圖案化的金屬。

13.一種用于制造極性彈性體的微結(jié)構(gòu)的方法，所述方法包括：

用包含極性彈性體的電介質(zhì)材料涂覆基材；

用第一金屬涂覆電介質(zhì)材料；

用第二金屬涂覆第一金屬；

用光致抗蝕劑涂覆第二金屬；

使光致抗蝕劑通過光掩模暴露于紫外(UV)光，以在光致抗蝕劑上限定圖案；

對(duì)光致抗蝕劑進(jìn)行顯影以在光致抗蝕劑上形成圖案；

對(duì)第二金屬進(jìn)行蝕刻以將圖案從光致抗蝕劑轉(zhuǎn)移到第二金屬；以及

對(duì)第一金屬進(jìn)行蝕刻以將圖案從第二金屬轉(zhuǎn)移到第一金屬。

14.如權(quán)利要求13所述的方法，所述方法還包括：

從第二金屬移除光致抗蝕劑。

15.如權(quán)利要求13或權(quán)利要求14所述的方法，其還包括：

在對(duì)光致抗蝕劑進(jìn)行顯影之后并在對(duì)第二金屬進(jìn)行蝕刻之前，對(duì)光致抗蝕劑進(jìn)行后烘。