[發(fā)明專利]異物去除系統(tǒng)以及異物去除裝置的監(jiān)視方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780077875.3
• 申請日: 2017-12-27
• 公開（公告）號: CN110073057B
• 公開（公告）日: 2021-12-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 江川聰;木上昭吾;鈴木拓也
• 申請（專利權(quán)）人: 納博特斯克有限公司
• 主分類號: G05B23/00
• 分類號: G05B23/00
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種異物去除系統(tǒng)，具備：

異物去除裝置，其具有：生成器，其用于生成壓縮氣體；保持器，其在內(nèi)部保持所生成的所述壓縮氣體；以及噴射器，其噴射被保持的所述壓縮氣體，來將軌道分支部的異物去除；以及

監(jiān)視系統(tǒng)，其具有：壓力檢測單元，其被配置于所述異物去除裝置，用于檢測所述保持器內(nèi)部的壓力；以及故障預(yù)兆判定單元，其基于所檢測出的所述保持器內(nèi)部的壓力，來判定所述異物去除裝置有無故障的預(yù)兆。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異物去除系統(tǒng)，其特征在于，

所述故障預(yù)兆判定單元基于在所述噴射之后檢測出的所述保持器內(nèi)部的壓力與同在所述噴射之前檢測出的所述保持器內(nèi)部的壓力對應(yīng)的所述噴射之后的保持器內(nèi)部的壓力的第一上限值及第一下限值的對比，來判定有無所述故障的預(yù)兆。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的異物去除系統(tǒng)，其特征在于，

還具備故障判定單元，該故障判定單元基于所檢測出的所述保持器內(nèi)部的壓力，來判定所述異物去除裝置有無故障，

所述故障判定單元基于在所述噴射之后檢測出的所述保持器內(nèi)部的壓力與同在所述噴射之前檢測出的所述保持器內(nèi)部的壓力對應(yīng)的所述噴射之后的保持器內(nèi)部的壓力的第二上限值及第二下限值的對比，來判定有無所述故障。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異物去除系統(tǒng)，其特征在于，

所述故障預(yù)兆判定單元基于在所述噴射之前檢測出的所述保持器內(nèi)部的壓力與在所述噴射之后檢測出的所述保持器內(nèi)部的壓力之間的壓力差，來判定有無所述故障的預(yù)兆。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異物去除系統(tǒng)，其特征在于，

所述故障預(yù)兆判定單元基于在所述噴射之后檢測出的所述保持器內(nèi)部的壓力，來判定有無所述故障的預(yù)兆。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異物去除系統(tǒng)，其特征在于，

所述故障預(yù)兆判定單元基于所檢測出的所述保持器內(nèi)部的壓力在規(guī)定時間內(nèi)的變化量，來判定有無所述故障的預(yù)兆。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的異物去除系統(tǒng)，其特征在于，

在獲取到所述變化量時所述異物去除裝置為規(guī)定的狀態(tài)的情況下，所述故障預(yù)兆判定單元不進(jìn)行表示有所述故障的預(yù)兆的意思的判定。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的異物去除系統(tǒng)，其特征在于，

所述規(guī)定的狀態(tài)包括所述噴射時、所述生成器的周圍溫度降低時以及所述生成器運轉(zhuǎn)后的規(guī)定時間中的至少一者。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中的任一項所述的異物去除系統(tǒng)，其特征在于，

還具備警報輸出單元，在判定為有所述故障的預(yù)兆的情況下，該警報輸出單元輸出警報。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至8中的任一項所述的異物去除系統(tǒng)，其特征在于，

還具備檢查單元，該檢查單元基于所述噴射之后的所述保持器內(nèi)部的壓力的上升量，來檢查所述異物去除裝置有無故障。

11.一種異物去除裝置的監(jiān)視方法，包括：

在所述異物去除裝置中，檢測所述異物去除裝置所具有的保持器內(nèi)部的壓力，其中，所述異物去除裝置具有：生成器，其用于生成壓縮氣體；所述保持器，其在內(nèi)部保持所生成的所述壓縮氣體；以及噴射器，其噴射被保持的所述壓縮氣體，來將軌道分支部的異物去除，

在所述異物去除裝置中，基于所檢測出的所述保持器內(nèi)部的壓力，來判定所述異物去除裝置有無故障的預(yù)兆。