[發(fā)明專(zhuān)利]激光系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780073845.5
• 申請(qǐng)日: 2017-01-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110024239A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小野瀨貴士
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 極光先進(jìn)雷射株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01S3/10
• 分類(lèi)號(hào): H01S3/10
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 金玲;黃綸偉

1.一種激光系統(tǒng)，其具有：

A、激光裝置，其輸出脈沖激光；

B、光學(xué)脈沖擴(kuò)展器，其包含用于延長(zhǎng)所述脈沖激光的脈沖寬度的延遲光路；以及

C、相位光學(xué)元件，其包含在所述延遲光路內(nèi)，且包含使所述脈沖激光的相位在空間上隨機(jī)地偏移的功能。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光系統(tǒng)，其中，

所述相位光學(xué)元件包含多種單元，該多種單元的使所述脈沖激光的相位發(fā)生偏移的相移量是不同的，并且該多種單元的排列在任意方向上也是非周期性的。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光系統(tǒng)，其中，

所述相位光學(xué)元件是隨機(jī)相位板，該隨機(jī)相位板作為與構(gòu)成所述延遲光路的光學(xué)元件不同的部件而單獨(dú)設(shè)置在所述延遲光路內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光系統(tǒng)，其中，

所述相位光學(xué)元件在所述延遲光路內(nèi)配置在被準(zhǔn)直后的準(zhǔn)直光的光路上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光系統(tǒng)，其中，

所述光學(xué)脈沖擴(kuò)展器包含多個(gè)凹面鏡，

所述多個(gè)凹面鏡中的至少1個(gè)凹面鏡兼作所述相位光學(xué)元件。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光系統(tǒng)，其中，

兼作所述相位光學(xué)元件的凹面鏡由在光學(xué)上等價(jià)于凹面鏡的高反射鏡構(gòu)成，

所述高反射鏡包含平凸?fàn)畹幕濉⒏叻瓷淠ひ约跋嘁茖樱?/p>

高反射膜形成于所述基板的平面?zhèn)鹊谋砻妫?/p>

所述相移層形成于所述基板的凸?fàn)畹谋砻妫顾雒}沖激光的相位在空間上隨機(jī)地偏移。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光系統(tǒng)，其中，

所述光學(xué)脈沖擴(kuò)展器包含分束器，

所述分束器兼作所述相位光學(xué)元件。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光系統(tǒng)，其中，

該激光系統(tǒng)還具有：

D、放大器，其對(duì)從所述光學(xué)脈沖擴(kuò)展器輸出的伸長(zhǎng)脈沖激光進(jìn)行放大。

9.一種激光系統(tǒng)，其具有：

A、激光裝置，其輸出脈沖激光；

B、放大器，其包含光諧振器，對(duì)從所述激光裝置輸出的所述脈沖激光進(jìn)行放大；以及

C、第一相位光學(xué)元件，其包含在所述光諧振器的光路內(nèi)，且包含使所述脈沖激光的相位在空間上隨機(jī)地偏移的功能。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的激光系統(tǒng)，其中，

所述第一相位光學(xué)元件包含多種單元，該多種單元的使所述脈沖激光的相位發(fā)生偏移的相移量是不同的，并且該多種單元的排列在任意方向上也是非周期性的。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的激光系統(tǒng)，其中，

所述第一相位光學(xué)元件是隨機(jī)相位板，該隨機(jī)相位板作為與構(gòu)成所述放大器的光學(xué)元件不同的部件而單獨(dú)設(shè)置在所述光諧振器的光路內(nèi)。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的激光系統(tǒng)，其中，

所述放大器包含一對(duì)放電空電極，

所述光諧振器是環(huán)形諧振器，該環(huán)形諧振器形成兩個(gè)光路，該兩個(gè)光路在所述一對(duì)放電電極之間的放電空間內(nèi)通過(guò)，

所述隨機(jī)相位板配置成供所述兩個(gè)光路通過(guò)。

13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的激光系統(tǒng)，其中，

所述光諧振器是法布里-珀羅諧振器和環(huán)形諧振器中的任意一個(gè)。

14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的激光系統(tǒng)，其中，

所述放大器包含設(shè)置有多個(gè)窗口的激光腔室，

所述多個(gè)窗口中的至少1個(gè)窗口兼作所述第一相位光學(xué)元件。