[發(fā)明專利]具有抑制的寄生模式的MEMS諧振器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201780073620.X | 申請(qǐng)日： | 2017-10-27 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN110024285B | 公開（公告）日： | 2023-04-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 維萊·卡亞卡里 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 株式會(huì)社村田制作所 |
| 主分類號(hào)： | H03H9/02 | 分類號(hào)： | H03H9/02;H03H9/00;H03H9/15;H03H9/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 唐京橋;楊林森 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 抑制 寄生 模式 mems 諧振器 | ||
1.一種微機(jī)電系統(tǒng)MEMS諧振器，包括：
多個(gè)第一諧振器板，每個(gè)第一諧振器板具有寬度W1和長(zhǎng)度L1，其中，所述長(zhǎng)度L1所述寬度W1；以及
多個(gè)第二諧振器板，每個(gè)第二諧振器板具有寬度W2和長(zhǎng)度L2，其中，所述長(zhǎng)度L2所述寬度W2，
其中，所述多個(gè)第一諧振器板和所述多個(gè)第二諧振器板被設(shè)置成沿所述MEMS諧振器的橫向方向彼此平行，并且
其中，所述長(zhǎng)度L1不等于所述長(zhǎng)度L2。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS諧振器，其中，所述多個(gè)第二諧振器板包括至少一對(duì)第二諧振器板，所述至少一對(duì)第二諧振器板分別被設(shè)置成沿橫向方向與所述多個(gè)第一諧振器板中的至少一對(duì)第一諧振器板的外側(cè)相鄰。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS諧振器，其中，所述一對(duì)第一諧振器板被設(shè)置成沿所述橫向方向在所述第一諧振器板的各自內(nèi)側(cè)處彼此相鄰，所述內(nèi)側(cè)與所述外側(cè)相對(duì)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS諧振器，其中，所述MEMS諧振器包括對(duì)稱形狀，使得所述多個(gè)第二諧振器板沿所述橫向方向相對(duì)于所述多個(gè)第一諧振器板對(duì)稱地對(duì)準(zhǔn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS諧振器，其中，所述第二諧振器板中的每個(gè)第二諧振器板的長(zhǎng)度L2等于0.98×所述第一諧振器板的長(zhǎng)度L1。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS諧振器，其中，所述第二諧振器板中的每個(gè)第二諧振器板的長(zhǎng)度L2等于0.98×所述第一諧振器板的長(zhǎng)度L1。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的MEMS諧振器，其中，所述第一諧振器板中的每個(gè)第一諧振器板的寬度W1等于所述第二諧振器板中的每個(gè)第二諧振器板的寬度W2。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS諧振器，還包括至少一個(gè)第三諧振器板，所述至少一個(gè)第三諧振器板具有與所述長(zhǎng)度L1或所述長(zhǎng)度L2不相等的長(zhǎng)度L3。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的MEMS諧振器，其中，各個(gè)諧振器板的長(zhǎng)度L1、L2和L3滿足以下：
其中，i和i+1是所述MEMS諧振器中的任意兩個(gè)相鄰的諧振器板，并且
其中，Li和Li+1是至少一對(duì)沿所述橫向方向相鄰的諧振器板的平均長(zhǎng)度。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS諧振器，其中，所述第一諧振器板中的每個(gè)第一諧振器板的長(zhǎng)度L1和所述第二諧振器板中的每個(gè)第二諧振器板的長(zhǎng)度L2滿足以下：
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的MEMS諧振器，其中，所述第一諧振器板中的每個(gè)第一諧振器板的寬度W1和所述第二諧振器板中的每個(gè)第二諧振器板的寬度W2滿足以下：
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的MEMS諧振器，其中，所述第一諧振器板中的每個(gè)第一諧振器板的長(zhǎng)度L1和所述第二諧振器板中的每個(gè)第二諧振器板的長(zhǎng)度L2滿足以下：
13.一種微機(jī)電系統(tǒng)MEMS諧振器，包括：
多個(gè)內(nèi)部諧振器板，每個(gè)內(nèi)部諧振器板具有寬度W1和大于所述寬度W1的長(zhǎng)度L1，其中，所述內(nèi)部諧振器板被設(shè)置成沿所述內(nèi)部諧振器板的各自的第一側(cè)彼此相鄰；以及
多個(gè)外部諧振器板，每個(gè)外部諧振器板具有寬度W2和大于所述寬度W2的長(zhǎng)度L2，其中，至少一對(duì)外部諧振器板被設(shè)置成與一對(duì)內(nèi)部諧振器板的各自的第二側(cè)相鄰，
其中，所述一對(duì)內(nèi)部諧振器板的所述第二側(cè)沿所述MEMS諧振器的橫向方向分別與所述第一側(cè)相對(duì)，并且
其中，所述長(zhǎng)度L1不等于所述長(zhǎng)度L2。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的MEMS諧振器，其中，所述外部諧振器板中的每個(gè)外部諧振器板的長(zhǎng)度L2等于0.98×所述內(nèi)部諧振器板的長(zhǎng)度L1。
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