[發(fā)明專利]使用神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的光譜監(jiān)測(cè)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780073024.1
• 申請(qǐng)日: 2017-11-22
• 公開（公告）號(hào): CN110036464B
• 公開（公告）日: 2023-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: B·切里安
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/66;H01L21/304
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 汪駿飛;侯穎媖

1.一種用于控制基板的處理的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，所述計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品有形地實(shí)施于非瞬時(shí)計(jì)算機(jī)可讀取介質(zhì)中，并且包括用于使處理器執(zhí)行以下操作的指令：

從原位光監(jiān)測(cè)系統(tǒng)接收從正進(jìn)行處理的基板反射的光的測(cè)得的光譜，所述處理修改所述基板的外層的厚度；

縮減所述測(cè)得的光譜的維度以產(chǎn)生多個(gè)分量值，其中所述測(cè)得的光譜包括N個(gè)波長(zhǎng)的N個(gè)強(qiáng)度值，并且其中縮減所述維度的指令包括使具有N列中的N個(gè)強(qiáng)度值的1×N矩陣乘以其中LN的N×L矩陣以產(chǎn)生L個(gè)分量值的指令；

使用人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)來產(chǎn)生表征值，所述人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)具有接收所述多個(gè)分量值的多個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)、輸出所述表征值的輸出節(jié)點(diǎn)以及將所述輸入節(jié)點(diǎn)連接至所述輸出節(jié)點(diǎn)的多個(gè)隱藏節(jié)點(diǎn)；以及

基于所述表征值來確定所述基板的停止處理或處理參數(shù)的調(diào)整中的至少一個(gè)。

2.如權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括對(duì)多個(gè)參考光譜執(zhí)行特征提取以產(chǎn)生多個(gè)分量的指令。

3.如權(quán)利要求2所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中執(zhí)行特征提取的所述指令包括執(zhí)行主成分分析、奇異值分解、獨(dú)立成分分析或自編碼的指令。

4.如權(quán)利要求2所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括對(duì)具有已知表征值的所述多個(gè)參考光譜中的兩個(gè)或更多個(gè)光譜來執(zhí)行維度縮減以產(chǎn)生訓(xùn)練數(shù)據(jù)的指令。

5.如權(quán)利要求4所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括使用所述訓(xùn)練數(shù)據(jù)和所述已知表征值而通過反向傳播訓(xùn)練所述人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的指令。

6.如權(quán)利要求5所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)光譜包括比所述多個(gè)參考光譜更少的光譜。

7.如權(quán)利要求5所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括對(duì)具有已知表征值的多個(gè)參考光譜執(zhí)行維度縮減以產(chǎn)生訓(xùn)練數(shù)據(jù)的指令。

8.如權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中所述神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)包括至少一個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)，所述至少一個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)被配置為接收所述基板的先前測(cè)量、先前基板的測(cè)量、來自所述基板在其中經(jīng)歷處理的處理系統(tǒng)中的另一傳感器的測(cè)量、來自在所述處理系統(tǒng)外部的傳感器的測(cè)量、來自所述處理系統(tǒng)的控制器所存儲(chǔ)的處理配方的值或由所述控制器追蹤的變量的值中的至少一個(gè)。

9.一種處理基板的方法，包括以下步驟：

使基板經(jīng)受修改所述基板的外層的厚度的處理；

在所述處理期間利用原位光監(jiān)測(cè)系統(tǒng)測(cè)量從正進(jìn)行處理的所述基板反射的光的測(cè)得的光譜；

縮減所述測(cè)得的光譜的維度以產(chǎn)生多個(gè)分量值，其中所述測(cè)得的光譜包括N個(gè)波長(zhǎng)的N個(gè)強(qiáng)度值，并且其中縮減所述維度包括使具有N列中的N個(gè)強(qiáng)度值的1×N矩陣乘以其中LN的N×L矩陣以產(chǎn)生L個(gè)分量值；

使用人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)來產(chǎn)生表征值，所述人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)具有接收所述多個(gè)分量值的多個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)、輸出所述表征值的輸出節(jié)點(diǎn)以及將所述輸入節(jié)點(diǎn)連接至所述輸出節(jié)點(diǎn)的多個(gè)隱藏節(jié)點(diǎn)；以及

基于所述表征值來確定所述基板的停止處理或處理參數(shù)的調(diào)整中的至少一個(gè)。

10.如權(quán)利要求9所述的方法，其中所述處理包括化學(xué)機(jī)械拋光。

11.如權(quán)利要求9所述的方法，包括對(duì)多個(gè)參考光譜執(zhí)行特征提取以產(chǎn)生多個(gè)分量。

12.如權(quán)利要求11所述的方法，包括對(duì)具有已知表征值的所述多個(gè)參考光譜中的兩個(gè)或更多個(gè)執(zhí)行維度縮減以產(chǎn)生訓(xùn)練數(shù)據(jù)。