[發(fā)明專利]超純水制造方法及超純水制造系統在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201780072434.4 | 申請日： | 2017-11-08 |
| 公開（公告）號： | CN110291045A | 公開（公告）日： | 2019-09-27 |
| 發(fā)明（設計）人： | 天谷徹 | 申請（專利權）人： | 野村微科學股份有限公司 |
| 主分類號： | C02F1/44 | 分類號： | C02F1/44;B01D61/04;B01D61/08;B01D61/46;B01D61/58;C02F1/28;C02F1/469;C02F9/02;C02F9/06 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 白麗 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 反滲透膜裝置 超純水制造系統 超純水 耐氯性 制造 換算 氧化劑 被處理水 反滲透膜 生物污損 游離氯 游離溴 后段 劣化 | ||
1.一種超純水制造方法，其特征在于，其是使用了具備2段反滲透膜裝置的超純水制造系統的超純水制造方法，其中，
作為所述2段反滲透膜裝置的前段的反滲透膜裝置使用耐氯性反滲透膜裝置進行處理，
作為所述2段反滲透膜裝置的后段的反滲透膜裝置使用非耐氯性反滲透膜裝置進行處理，
在所述耐氯性反滲透膜裝置中將被處理水中的以Cl換算的游離氯濃度和以Br換算的游離溴濃度合計調節(jié)至0.01mg/L以上且低于0.1mg/L。
2.根據權利要求1所述的超純水制造方法，其特征在于，在所述2段反滲透膜裝置的前段包括使用活性炭裝置進行處理的工序，其中，
調節(jié)所述活性炭裝置中的流速，從而調節(jié)所述被處理水中的游離氯濃度和游離溴濃度的合計。
3.根據權利要求2所述的超純水制造方法，其特征在于，所述活性炭裝置中的流速以空間速度計為20h-1～50h-1。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的超純水制造方法，其特征在于，其包括將所述2段反滲透膜裝置的透過水通過電去離子裝置進行處理的工序。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的超純水制造方法，其特征在于，將所述耐氯性反滲透膜裝置的透過水中的游離氯濃度和游離溴濃度合計調節(jié)至0.005mg/L～0.05mg/L。
6.一種超純水制造系統，其特征在于，其是具備2段反滲透膜裝置的超純水制造系統，其具備：
耐氯性反滲透膜裝置，該耐氯性反滲透膜裝置作為所述2段反滲透膜裝置的前段的反滲透膜裝置發(fā)揮功能；
非耐氯性反滲透膜裝置，該非耐氯性反滲透膜裝置作為所述2段反滲透膜裝置的后段的反滲透膜裝置發(fā)揮功能；和
濃度調節(jié)部，該濃度調節(jié)部將所述耐氯性反滲透膜裝置的被處理水中的以Cl換算的游離氯濃度和以Br換算的游離溴濃度合計調節(jié)至0.01mg/L以上且低于0.1mg/L。
7.根據權利要求6所述的超純水制造系統，其特征在于，其進一步具備：
活性炭裝置，該活性炭裝置配設于所述2段反滲透膜裝置的前段；和
電去離子裝置，該電去離子裝置配設于所述2段反滲透膜裝置的后段。
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