[發明專利]用于控制或調節顯微鏡照明的方法

有效

• 申請號: 201780071702.0
• 申請日: 2017-11-22
• 公開（公告）號: CN110036328B
• 公開（公告）日: 2022-04-29
• 發明（設計）人: 邁克爾·古格拉;托馬斯·奧特
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司顯微鏡有限責任公司
• 主分類號: G02B21/06
• 分類號: G02B21/06;G02B21/36
• 代理公司: 北京市創世宏景專利商標代理有限責任公司 11493
• 代理人: 崔永華

1.一種用于控制或調節顯微鏡(10)的光源(16)的方法，所述光源用于利用照明輻射將物體(12)照明，所述方法包括以下步驟：

確定物體(12)上的照明輻射的能量參數的額定值，

借助光源(16)產生照明輻射，

提供用于將照明輻射聚焦到物體(12)上的物鏡(14)，

將物鏡(14)前面的一定比例的照明輻射作為測量輻射耦合輸出并測量測量輻射的能量參數的實際值，

確定物鏡(14)對于照明輻射的透射特性，

提供測量輻射的能量參數與物體(12)上的照明輻射的能量參數之間的關系，所述關系依賴于物鏡(14)透射特性和所述比例的大小，以及

以如下方式調整光源(16)，使得對于測量輻射測量的能量參數的實際值按照所述關系在公差范圍內對應于物體(12)上的照明輻射的能量參數的額定值，

其中，所述顯微鏡(10)是反射光顯微鏡，并且所述反射光顯微鏡用于在寬視場中對物體(12)成像。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，確定透射特性和/或測量實際值是以依賴于波長的方式進行的和/或所述關系是依賴于波長的。

3.根據權利要求1所述的方法，其中，為了對于所述關系顧及到物鏡(14)的透射特性，確定過濾照明輻射的激發濾光器(33)和/或光源(16)的類型。

4.根據權利要求3所述的方法，其中，測量輻射的能量參數的實際值在照明輻射的預定波長范圍內測量，由在照明輻射的預定波長范圍內測量到的測量輻射的能量參數的實際值，在顧及到激發濾光器(33)和/或光源(16)的類型的情況下，在整個波長范圍內推斷出關于物體(12)上的能量參數的當前值。

5.根據權利要求1所述的方法，其中，對于所述關系，還對布置在物鏡(14)與耦合輸出位置之間的光學元件的透射特性和/或存在于物體(12)和物鏡(14)之間的浸沒介質的透射特性加以確定并顧及。

6.根據權利要求1所述的方法，其中，所述測量輻射被引導通過監測光闌(44)，所述監測光闌(44)的開口被設定為使得其對應于物鏡(14)的有效孔徑。

7.根據權利要求1所述的方法，其中，對測量輻射的能量參數的實際值連續監測，并且調節光源(16)。

8.根據權利要求1所述的方法，其中，確定測量輻射的光斑的面積，并且在物鏡(14)的有效孔徑和/或所述面積方面對所述關系加以修正。

9.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，生成物體(12)的電子圖像，其中，曝光時間與測量實際值的曝光時間同步。

10.根據權利要求1所述的方法，其中，在物鏡(14)與耦合輸出測量輻射的分束器裝置(22)之間提供快門(38)，并且當實際值在公差范圍內對應于額定值時，打開快門(38)。

11.根據權利要求1所述的方法，其中，存儲額定值的時間分布和/或從其導出的值的實際值的時間分布。