[發明專利]可普遍安裝的端塊

有效

• 申請號: 201780070192.5
• 申請日: 2017-11-23
• 公開（公告）號: CN109937270B
• 公開（公告）日: 2022-04-01
• 發明（設計）人: W·德博斯謝爾;I·范德普特;N·德維爾德
• 申請（專利權）人: 梭萊先進鍍膜工業有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 秦晨

1.一種用在沉積裝置中的端塊(100)，用于將圓柱體可消耗靶(150)與磁棒、與沉積裝置的外部連接，端塊包括提供可消耗靶與磁棒之間的相對移動的驅動單元，該驅動單元包括從動軸，其中包含端塊(100)的端塊殼體(160)基本上與從動軸軸向對稱并同軸，

其中，用于在可消耗靶與磁棒之間提供相對移動的驅動單元包括用于驅動可消耗靶(150)的可消耗靶馬達(120)和可消耗靶驅動軸(126)，可消耗靶驅動軸(126)與可消耗靶同軸，

其特征在于，端塊包括可消耗靶上的電力傳輸單元，其中可消耗靶驅動軸(126)適于將電力傳送到可消耗靶(150)。

2.如權利要求1所述的端塊，其中圍繞端塊殼體并垂直于從動軸的圓的直徑不大于其上可安裝可消耗靶的耦合器的直徑的2.7倍。

3.如權利要求1所述的端塊(100)，可消耗靶驅動軸(126)至少部分地由導電材料制成。

4.如權利要求1所述的端塊，其還包括以下部分中的至少一個：(i)可旋轉的電接觸，以在可消耗靶上獲得電力，(ii)一個或多個軸承，在可消耗靶繞其軸旋轉的同時機械地支撐可消耗靶，(iii)用于制冷劑和/或真空的一個或多個可旋轉密封設備。

5.如權利要求1所述的端塊(100)，可消耗靶馬達(120)包括安裝在端塊(100)的靜態部分(110)上的線圈(122)，并且包括安裝在可消耗靶驅動軸(126)上的磁體系統(124)，線圈和磁體系統(124)被安裝成使得通過發送流過線圈的電流，可在可消耗靶驅動軸(126)上生成旋轉力矩。

6.如權利要求5所述的端塊(100)，靜態部分包括具有至少一個圓柱體(112，116)的盤(114)，所述圓柱體(112，116)與可消耗靶驅動軸(126)同軸并且盤(114)垂直于可消耗靶驅動軸(126)，所述至少一個圓柱體(112，116)位于可消耗靶驅動軸(126)周圍或內部。

7.如權利要求6所述的端塊，可消耗靶馬達(120)的線圈(122)安裝在圓柱體(112，116)上，并且動力傳輸(140)安裝在圓柱體(112，116)和可消耗靶驅動軸(126)之間。

8.如權利要求6所述的端塊，用于提供可消耗靶與磁棒之間的相對移動的驅動單元包括用于移動可消耗靶內的磁棒的磁棒馬達(220)和磁棒驅動軸(226)。

9.如權利要求8所述的端塊(100)，磁棒馬達(220)與可消耗靶馬達(120)串聯放置，磁棒馬達附連到靜態部分(110)，并且磁棒驅動軸(226)與可消耗靶驅動軸(126)同軸安裝。

10.如權利要求8所述的端塊(100)，磁棒馬達(220)包括安裝在端塊(100)的靜態部分(110)上的線圈(222)，并且包括安裝在磁棒驅動軸(226)上的磁體系統(224)，線圈(222)和磁體系統(224)安裝成使得通過發送流過線圈的電流，可在磁棒驅動軸(226)上生成旋轉力矩。

11.如權利要求9所述的端塊(100)，在盤(114)的與存在至少一個原始圓柱體(112，116)的側相對的側上存在至少一個附加圓柱體(212，216)，附加圓柱體(212，216)與可消耗靶驅動軸(126)同軸，并且磁棒驅動軸(226)的一部分位于附加圓柱體(212，216)周圍或內部。

12.如權利要求1所述的端塊，其還包括將個體磁體或一系列磁體定位在磁棒中的單元。

13.一種沉積裝置(300,400)，包括至少一個如前述權利要求中任一項所述的端塊(100)。