[發明專利]壓差傳感器和制造

在審

• 申請號: 201780069860.2
• 申請日: 2017-11-10
• 公開（公告）號: CN109952498A
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發明（設計）人: D.E.瓦格納
• 申請（專利權）人: 測量專業股份有限公司
• 主分類號: G01L13/02
• 分類號: G01L13/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 賀紫秋

1.一種壓差傳感器，包括：

第一傳感器殼體構件，具有用于接收第一壓力下的第一流體的第一流體入口端口：

第二傳感器殼體構件，具有用于接收第二壓力下的第二流體的第二流體入口端口；和

壓力傳感子組件，具有包括敏感隔膜的半導體壓力傳感管芯，壓力傳感子組件配置為插入到壓差傳感器中，使得一旦被插入則第一流體入口端口與敏感隔膜的第一表面流體連通且第二流體入口端口與敏感隔膜的第二表面流體連通。

2.如權利要求1所述的壓差傳感器，其中壓力傳感子組件進一步包括：

基板，具有被限定為穿過基板的第一孔，其中半導體壓力傳感管芯附接到基板，使得敏感隔膜的下表面基本上對準基板中的第一孔；

殼體，附接到基板，殼體含有半導體壓力傳感管芯且具有限定為穿過其中的第二孔，用于提供與敏感隔膜的上表面的流體連通。

3.如權利要求2所述的壓差傳感器，其中壓力傳感子組件進一步包括密封材料，該密封材料設置在殼體的一表面上且圍繞第二孔并設置在基板的下表面上且圍繞第一孔，其中密封材料在殼體和第一傳感器殼體構件之間且在基板的下表面和第二傳感器殼體構件之間提供流體密封。

4.如權利要求3所述的壓差傳感器，其中密封材料是粘接劑。

5.如權利要求3所述的壓差傳感器，其中密封材料是焊劑。

6.如權利要求3所述的壓差傳感器，其中密封材料是彈性體或橡膠，例如O型環密封件。

7.如權利要求2所述的壓差傳感器，其中壓力傳感子組件進一步包括：

至少一個壓阻元件，形成在敏感隔膜的下表面和上表面中的至少一個處；和

控制電路，附接到基板且電連接到至少一個壓阻元件。

8.如權利要求7所述的壓差傳感器，其中控制電路配置為專用集成電路。

9.如權利要求1所述的壓差傳感器，其中具有第一流體入口端口的第一傳感器殼體構件進一步包括：

外壁，限定第一流體入口端口且進一步限定用于接收第一壓力下的第一流體的第一空間；

第一可撓隔膜，限定用于接收第一壓力下的第一流體的第一空間的壁；和

第一本體，含有第一腔室，第一可撓隔膜定位在限定了第一流體入口端口的外壁和第一本體之間，其中第二空間被限定在第一可撓隔膜和第一腔室之間，第二空間配置為填充有不對半導體壓力傳感管芯造成損壞的油或流體。

10.如權利要求9所述的壓差傳感器，其中具有第二流體入口端口的第二傳感器殼體構件進一步包括：

外壁，限定第二流體入口端口且進一步限定用于接收第二壓力下的第二流體的第三空間；

第二可撓隔膜，限定用于接收第二壓力下的第二流體的第三空間的壁；和

第二本體，含有第二腔室，第二可撓隔膜定位在限定了第二流體入口端口的外壁和第二本體之間，其中第四空間被限定在第二可撓隔膜和第二腔室之間，第四空間配置為填充有不對半導體壓力傳感管芯造成損壞的油或流體。

11.如權利要求10所述的壓差傳感器，其中限定第一和第二流體入口端口的外壁、第一和第二可撓膜片、和第一和第二本體包括對嚴苛介質的損壞有抵抗性的材料。

12.如權利要求11所述的壓差傳感器，其中限定第一和第二流體入口端口的外壁、第一和第二可撓膜片、和第一和第二本體包括不銹鋼。