[發明專利]聚合物、有機膜組成物以及形成圖案的方法在審
| 申請號: | 201780069472.4 | 申請日: | 2017-07-21 |
| 公開(公告)號: | CN109983053A | 公開(公告)日: | 2019-07-05 |
| 發明(設計)人: | 鄭鉉日;金瑆煥;金昇炫;樸裕信;林栽范 | 申請(專利權)人: | 三星SDI株式會社 |
| 主分類號: | C08G61/12 | 分類號: | C08G61/12;C08G61/02;H01L21/027;H01L21/033;G03F7/00;G03F7/09 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人: | 楊貝貝;臧建明 |
| 地址: | 韓國京畿道龍仁市器興區貢稅*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 聚合物 有機膜 組成物 圖案 | ||
1.一種聚合物,包括:
由化學式1表示的結構單元,及
由化學式2表示的結構單元:
[化學式1]
[化學式2]
其中,在化學式1及化學式2中,
A1為由化學式X表示的部分,
A2為經取代或未經取代的C6至C30芳環且具有不同于A1的結構,B1及B2獨立地為經取代或未經取代的C6至C30芳環,以及
*為鍵聯點:
[化學式X]
其中,在化學式X中,
Ar為經取代或未經取代的四邊形環、經取代或未經取代的五邊形環、經取代或未經取代的六邊形環或其稠環(fused ring),
Ra為氫、羥基、鹵素、經取代或未經取代的C1至C30烷氧基、經取代或未經取代的C1至C30烷基、經取代或未經取代的C2至C30烯基、經取代或未經取代的C2至C30炔基、經取代或未經取代的C6至C30芳基、經取代或未經取代的C1至C30雜烷基、經取代或未經取代的C2至C30雜芳基或其組合,
Za獨立地為羥基、鹵素、經取代或未經取代的C1至C30烷氧基、經取代或未經取代的C1至C30烷基、經取代或未經取代的C2至C30烯基、經取代或未經取代的C2至C30炔基、經取代或未經取代的C6至C30芳基、經取代或未經取代的C1至C30雜烷基、經取代或未經取代的C2至C30雜芳基或其組合,以及
m為0或1。
2.根據權利要求1所述的聚合物,其中在化學式1及化學式2中,B1及B2獨立地為族群1的經取代或未經取代的部分中的一者:
[族群1]
3.根據權利要求1所述的聚合物,其中在化學式1中,A1為族群2的部分中的一者:
[族群2]
其中,在族群2中,
R1及R2獨立地為氫、羥基、鹵素、經取代或未經取代的C1至C30烷氧基、經取代或未經取代的C1至C30烷基、經取代或未經取代的C2至C30烯基、經取代或未經取代的C2至C30炔基、經取代或未經取代的C6至C30芳基、經取代或未經取代的C1至C30雜烷基、經取代或未經取代的C2至C30雜芳基或其組合,
其限制條件為,在族群2中,每一部分的氫獨立地經以下基團置換或未經置換:羥基、鹵素、經取代或未經取代的C1至C30烷氧基、經取代或未經取代的C1至C30烷基、經取代或未經取代的C2至C30烯基、經取代或未經取代的C2至C30炔基、經取代或未經取代的C6至C30芳基、經取代或未經取代的C1至C30雜烷基、經取代或未經取代的C2至C30雜芳基或其組合。
4.根據權利要求1所述的聚合物,其中在化學式2中,A2為族群1的經取代或未經取代的部分中的一者:
[族群1]
5.根據權利要求4所述的聚合物,其中A2經至少一個羥基取代。
6.根據權利要求1所述的聚合物,其中在化學式1及化學式2中,B1及B2為經取代或未經取代的C6至C30芳環且具有相同結構。
7.根據權利要求1所述的聚合物,其中重量平均分子量為1,000至200,000。
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