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[發明專利]聚合物、有機膜組成物以及形成圖案的方法在審

專利信息
申請號: 201780069472.4 申請日: 2017-07-21
公開(公告)號: CN109983053A 公開(公告)日: 2019-07-05
發明(設計)人: 鄭鉉日;金瑆煥;金昇炫;樸裕信;林栽范 申請(專利權)人: 三星SDI株式會社
主分類號: C08G61/12 分類號: C08G61/12;C08G61/02;H01L21/027;H01L21/033;G03F7/00;G03F7/09
代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 代理人: 楊貝貝;臧建明
地址: 韓國京畿道龍仁市器興區貢稅*** 國省代碼: 韓國;KR
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 聚合物 有機膜 組成物 圖案
【權利要求書】:

1.一種聚合物,包括:

由化學式1表示的結構單元,及

由化學式2表示的結構單元:

[化學式1]

[化學式2]

其中,在化學式1及化學式2中,

A1為由化學式X表示的部分,

A2為經取代或未經取代的C6至C30芳環且具有不同于A1的結構,B1及B2獨立地為經取代或未經取代的C6至C30芳環,以及

*為鍵聯點:

[化學式X]

其中,在化學式X中,

Ar為經取代或未經取代的四邊形環、經取代或未經取代的五邊形環、經取代或未經取代的六邊形環或其稠環(fused ring),

Ra為氫、羥基、鹵素、經取代或未經取代的C1至C30烷氧基、經取代或未經取代的C1至C30烷基、經取代或未經取代的C2至C30烯基、經取代或未經取代的C2至C30炔基、經取代或未經取代的C6至C30芳基、經取代或未經取代的C1至C30雜烷基、經取代或未經取代的C2至C30雜芳基或其組合,

Za獨立地為羥基、鹵素、經取代或未經取代的C1至C30烷氧基、經取代或未經取代的C1至C30烷基、經取代或未經取代的C2至C30烯基、經取代或未經取代的C2至C30炔基、經取代或未經取代的C6至C30芳基、經取代或未經取代的C1至C30雜烷基、經取代或未經取代的C2至C30雜芳基或其組合,以及

m為0或1。

2.根據權利要求1所述的聚合物,其中在化學式1及化學式2中,B1及B2獨立地為族群1的經取代或未經取代的部分中的一者:

[族群1]

3.根據權利要求1所述的聚合物,其中在化學式1中,A1為族群2的部分中的一者:

[族群2]

其中,在族群2中,

R1及R2獨立地為氫、羥基、鹵素、經取代或未經取代的C1至C30烷氧基、經取代或未經取代的C1至C30烷基、經取代或未經取代的C2至C30烯基、經取代或未經取代的C2至C30炔基、經取代或未經取代的C6至C30芳基、經取代或未經取代的C1至C30雜烷基、經取代或未經取代的C2至C30雜芳基或其組合,

其限制條件為,在族群2中,每一部分的氫獨立地經以下基團置換或未經置換:羥基、鹵素、經取代或未經取代的C1至C30烷氧基、經取代或未經取代的C1至C30烷基、經取代或未經取代的C2至C30烯基、經取代或未經取代的C2至C30炔基、經取代或未經取代的C6至C30芳基、經取代或未經取代的C1至C30雜烷基、經取代或未經取代的C2至C30雜芳基或其組合。

4.根據權利要求1所述的聚合物,其中在化學式2中,A2為族群1的經取代或未經取代的部分中的一者:

[族群1]

5.根據權利要求4所述的聚合物,其中A2經至少一個羥基取代。

6.根據權利要求1所述的聚合物,其中在化學式1及化學式2中,B1及B2為經取代或未經取代的C6至C30芳環且具有相同結構。

7.根據權利要求1所述的聚合物,其中重量平均分子量為1,000至200,000。

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