[發明專利]用于組合的STEM和EDS斷層攝影的裝備

在審

• 申請號: 201780069062.X
• 申請日: 2017-10-23
• 公開（公告）號: CN109983326A
• 公開（公告）日: 2019-07-05
• 發明（設計）人: H·班德爾
• 申請（專利權）人: IMEC非營利協會
• 主分類號: G01N23/2251
• 分類號: G01N23/2251;G01N23/20091
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 楊麗;蔡悅

1.一種用于基于樣本(20)的STEM圖像的所述樣本的斷層攝影分析，以及用于基于EDS檢測器進行的X射線檢測的所述樣本的化學成分的斷層攝影分析的裝備，所述裝備包括：

·用于產生在波束方向(100)上傳播的電子束的電子槍，

·用于將所述波束聚焦在所述樣本(20)上的透鏡布置(10)，

·用于定位所述樣本的樣本保持器(21)，所述保持器能繞垂直于所述波束方向(100)的軸旋轉，

·用于捕捉STEM圖像的一個或多個檢測器(13、14、15)，

·一組EDS檢測器，

其特征在于：

·所述樣本保持器(21)是細長的保持器，其能繞縱軸(101)旋轉并且被配置成用于保持具有近端和遠端的柱狀樣本(20)，所述近端被附連到所述保持器的端部并且所述遠端在所述縱軸(101)的方向上從所述保持器(21)向外延伸，其中所述縱軸(101)被定位在樣品平面(22)內，所述樣品平面基本垂直于所述波束方向(100)，

·所述裝備包括至少兩個EDS檢測器(16、17)，每個EDS檢測器具有基本上垂直于所述樣品平面(22)定向并且與所述樣品平面相交的檢測表面(16'、17')，并且其中所述兩個EDS檢測器(16、17)被定位在所述樣本保持器(21)的縱軸(101)的相對側上，使得所述檢測表面(16'、17')被配置成面向所述樣本的相對側。

2.根據權利要求1所述的裝備，其特征在于，進一步包括具有檢測表面(18')的第三EDS檢測器(18)，所述檢測表面(18')是：

·基本上垂直于所述樣品平面(22)并且與所述樣品平面(22)相交，

·基本上垂直于所述檢測器的縱軸(101)，使得所述第三EDS檢測器(18)的檢測表面(18')被配置成面向所述樣本(20)的遠端。

3.根據權利要求1或2所述的裝備，其特征在于，所述EDS檢測器(16、17、18)的檢測表面(16'、17'、18')相對于所述檢測表面的中心或相對于所述檢測表面的中心線對稱，并且其中所述EDS檢測器被布置成使得所述檢測表面相對于所述樣品平面(22)對稱。

4.根據前述權利要求中任一項所述的裝備，其特征在于，橫向放置的EDS檢測器(16、17)的所述檢測表面(16'、17')與所述樣本保持器(21)的縱軸(101)之間的距離在2mm和5mm之間。

5.根據前述權利要求中任一項所述的裝備，其特征在于，所述裝備包括一個或多個STEM檢測器(13、14、15)，并且其中所述裝備被配置成使得：

·STEM采集和EDS采集在相同電子轟擊期間進行，

·不需要在不同電子轟擊期間進行的STEM和EDS采集。

6.根據權利要求5所述的裝備，其特征在于，所述裝備被配置成使得所述STEM采集和所述EDS采集同時進行。

7.根據前述權利要求中任一項所述的裝備，其特征在于，所述EDS檢測器(16、17、18)是硅漂移檢測器。

8.根據前述權利要求中任一項所述的裝備，其特征在于，所述EDS檢測器(16、17、18)的檢測表面(16'、17'、18')的形狀與所述裝備的配置相適配，以便與其中所述檢測表面是圓形的情形相比能夠將所述EDS檢測器放置得更靠近所述樣本。

9.根據前述權利要求中任一項所述的裝備，其特征在于，至少所述橫向地定位的EDS檢測器(16、17)是可移動的，使得所述EDS檢測器能夠被放置得更靠近或更遠離所述保持器的縱軸(101)。