[發明專利]傳感器以及操作傳感器的方法

有效

• 申請號: 201780068846.0
• 申請日: 2017-09-04
• 公開（公告）號: CN109891205B
• 公開（公告）日: 2022-06-21
• 發明（設計）人: T.羅茨尼克;S.Y.余;G.亞馬
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G01J5/00
• 分類號: G01J5/00;G01J5/04;G01J5/08;G01J5/02;G01J5/06;G01J5/20;G01F1/699;G01F1/68
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 殷超;傅永霄

1.一種傳感器，包括：

具有第一表面的襯底；

連接到所述襯底的蓋結構，所述蓋結構配置成限定所述蓋結構的內表面與所述襯底的所述第一表面之間的腔體，所述蓋結構包括紅外不透明材料，該紅外不透明材料配置成阻擋紅外輻射從所述蓋結構的外部進入所述腔體；

多個吸收器，所述多個吸收器中的每一個吸收器連接到相應電極，所述電極使相應吸收器在所述腔體內的相應位置處懸浮在所述襯底的所述第一表面上方以便使相應的吸收器與所述襯底熱學隔離，并且所述多個吸收器中的每一個吸收器配置成吸收所述腔體內的所述相應位置處的紅外輻射；以及

多個讀出電路，所述多個讀出電路中的每一個讀出電路經由相應電極連接到所述多個吸收器中的相應吸收器，并且配置成提供指示由所述相應吸收器吸收的紅外輻射量的測量信號。

2.權利要求1所述的傳感器，還包括：

配置成加熱所述蓋結構的受熱部分的加熱元件，所述多個吸收器中的每一個吸收器在鄰近于所述蓋結構的所述受熱部分的所述蓋結構的部分附近布置在所述腔體中。

3.權利要求2所述的傳感器，其中：

所述多個吸收器中的第一吸收器在從所述蓋結構的受熱部分的第一方向上在鄰近于所述蓋結構的受熱部分的所述蓋結構的部分附近布置在所述腔體中；并且

所述多個吸收器中的第二吸收器在從所述蓋結構的受熱部分的第二方向上在鄰近于所述蓋結構的受熱部分的所述蓋結構的部分附近布置在所述腔體中，所述第二方向與所述第一方向相反。

4.權利要求3所述的傳感器，其中：

所述多個吸收器中的第三吸收器在從所述蓋結構的受熱部分的第三方向上在鄰近于所述蓋結構的受熱部分的所述蓋結構的部分附近布置在所述腔體中，所述第三方向垂直于所述第一方向；并且

所述多個吸收器中的第四吸收器在從所述蓋結構的受熱部分的第四方向上在鄰近于所述蓋結構的受熱部分的所述蓋結構的部分附近布置在所述腔體中，所述第四方向與所述第三方向相反。

5.權利要求2所述的傳感器，其中所述多個吸收器中的所述吸收器布置在圍繞所述蓋結構的所述受熱部分對稱布置的所述蓋結構的部分附近。

6.權利要求1所述的傳感器，還包括：

可操作連接到所述多個讀出電路中的每一個讀出電路的控制器，所述控制器配置成：

從所述多個讀出電路中的每一個讀出電路接收所述測量信號；并且

確定在所述蓋結構附近流動的流體的流動特性，所述測量信號來自所述多個讀出電路中的至少兩個讀出電路。

7.權利要求6所述的傳感器，所述控制器還配置成：

基于來自連接到所述多個吸收器中的第一吸收器的所述多個讀出電路中的所述讀出電路的所述測量信號，檢測到第一紅外輻射量被所述第一吸收器吸收；

基于來自連接到所述多個吸收器中的第二吸收器的所述多個讀出電路中的所述讀出電路的所述測量信號，檢測到第二輻射量被所述第二吸收器吸收；并且

基于第一量和第二量的比較而確定所述流體在哪個方向上在所述第一吸收器與所述第二吸收器之間流動。

8.權利要求6所述的傳感器，所述控制器還配置成：

基于來自連接到所述多個吸收器中的第一吸收器的所述多個讀出電路中的所述讀出電路的所述測量信號，檢測到由所述第一吸收器吸收的紅外輻射量在第一時間點處開始改變；

基于來自連接到所述多個吸收器中的第二吸收器的所述多個讀出電路中的所述讀出電路的所述測量信號，檢測到由所述第二吸收器吸收的紅外輻射量在第二時間點處開始改變；并且

基于所述第一時間點和所述第二時間點的比較而確定所述流體在哪個方向上在所述第一吸收器到所述第二吸收器之間流動。