[發明專利]用于感測測量氣體室中的測量氣體的顆粒的傳感器元件

有效

• 申請號: 201780065827.2
• 申請日: 2017-10-11
• 公開（公告）號: CN109891211B
• 公開（公告）日: 2023-02-17
• 發明（設計）人: A·舒爾策;E·巴爾斯;A·蒂芬巴赫;K·赫韋格
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G01N15/06
• 分類號: G01N15/06;G01N15/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.一種傳感器元件(110)，所述傳感器元件用于感測測量氣體室中的測量氣體的顆粒，其中，所述傳感器元件(110)包括載體(112)，其中，在所述載體(112)上施加有第一電極裝置(114)和第二電極裝置(116)，其中，所述第一電極裝置(114)和所述第二電極裝置(116)分別具有多個電極指(118)，其中，所述第一電極裝置(114)的每個電極指(118)通過多個終端電阻(120)中的至少一個終端電阻與所述第二電極裝置(116)的至少一個電極指(118)電接觸，其中，所述多個終端電阻(120)作為分立的結構元件施加在所述載體(112)上。

2.根據權利要求1所述的傳感器元件(110)，其中，所述載體(112)包括至少一個摻雜區域(122)，其中，所述摻雜區域(122)接觸所述第一電極裝置(114)的電極指(118)的至少一個區段和所述第二電極裝置(116)的電極指(118)的至少一個區段。

3.根據權利要求2所述的傳感器元件(110)，其中，所述載體(112)在所述至少一個摻雜區域(122)中摻雜有至少一種摻雜材料，其中，所述摻雜材料從一個組中選擇出，該組由氧化鐵、ZrO₂、Cr₂O₃、MgO、MnO、Sm₂O₃、Tb₄O₇、Gd₂O₃和Y₂O₃組成。

4.根據權利要求3所述的傳感器元件(110)，其中，所述摻雜材料在所述至少一個摻雜區域(122)中以1mol％至100mol％的濃度存在。

5.根據權利要求2至4中任一項所述的傳感器元件(110)，其中，所述至少一個摻雜區域(122)具有10μm至2mm的寬度和/或10μm至2mm的長度和/或0.1μm至100μm的厚度。

6.根據權利要求2至4中任一項所述的傳感器元件(110)，其中，所述至少一個摻雜區域(122)在50℃至500℃的溫度區間內具有1×10^-9(Ωcm)^-1至10(Ωcm)^-1的導電率。

7.根據權利要求1至4中任一項所述的傳感器元件(110)，其中，所述傳感器元件(110)具有至少兩個終端電阻(120)。

8.根據權利要求7所述的傳感器元件(110)，其中，所述至少兩個終端電阻(120)分別具有彼此不同的值。

9.根據權利要求7所述的傳感器元件(110)，其中，所述至少兩個終端電阻(120)具有相同的值。

10.根據權利要求1至4中任一項所述的傳感器元件(110)，其中，所述終端電阻(120)被引入到控制器中。

11.根據權利要求1至4中任一項所述的傳感器元件(110)，其中，電極總電阻至少是所述第一電極裝置(114)的電阻、所述第二電極裝置(116)的電阻和所述至少一個終端電阻(120)的總電阻R_ges的總和，所述電極總電阻具有1MΩ至150MΩ的值。

12.用于制造用于感測測量氣體室中的測量氣體的顆粒的傳感器元件(110)的方法，其中，所述方法包括以下步驟：

a)提供載體(112)；

b)將第一電極裝置(114)和第二電極裝置(116)施加到所述載體(112)上，其中，所述第一電極裝置(114)和所述第二電極裝置(116)包括多個電極指(118)；

c)在所述載體(112)上或所述載體中產生多個終端電阻(120)，其中，所述第一電極裝置(114)的每個電極指(118)通過所述多個終端電阻(120)中的至少一個終端電阻與所述第二電極裝置(116)的至少一個電極指(118)電接觸，其中，將所述多個終端電阻(120)作為分立的結構元件壓印到所述載體(112)上。