[發明專利]用于優化圖案化裝置圖案的方法

在審

• 申請號: 201780065717.6
• 申請日: 2017-10-23
• 公開（公告）號: CN109891319A
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發明（設計）人: D-F·S·徐;李小陽
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G03F1/70
• 分類號: G03F1/70;G03F7/20;G03F1/36
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華;董典紅

1.一種用于優化圖案化裝置圖案的方法，所述方法包括：

獲得具有多個多邊形的初始設計圖案；

使所述多邊形中的至少一些多邊形有效地彼此連接；

將評估特征放置在所述多邊形的邊界之外；以及

基于所述評估特征，創建跨越已連接的多邊形的圖案化裝置圖案。

2.根據權利要求1所述的方法，還包括跨在所述已連接的多邊形中的至少一些多邊形生成引導輪廓，并且所述評估特征中的至少一些評估特征位于所述引導輪廓上。

3.根據權利要求2所述的方法，還包括：對照所述引導輪廓來評估中間圖案化裝置圖案，并基于對照所述引導輪廓的所述評估來調節創建所述圖案化裝置圖案的參數。

4.根據權利要求1所述的方法，其中，基于包括邊緣放置誤差和圖案放置誤差的成本函數來創建所述圖案化裝置圖案的圖案化裝置圖案輪廓。

5.根據權利要求1所述的方法，還包括關于所述多邊形應用圖案放置量規，并且創建所述圖案化裝置圖案是基于從所述圖案放置量規確定的值。

6.根據權利要求1所述的方法，其中，所述評估特征由在創建所述圖案化裝置圖案中使用的容差范圍來界定。

7.根據權利要求1所述的方法，還包括偏置所述多邊形的大小，和/或

其中，被偏置的多邊形中的至少一些多邊形彼此連接。

8.根據權利要求1所述的方法，還包括：

形成用以連接多邊形的橋；和/或

選擇彼此緊密相鄰的多邊形以進行連接，和/或

其中，所述緊密相鄰的多邊形具有小于k1值0.28的間隔距離或節距。

9.根據權利要求1所述的方法，其中，創建所述圖案化裝置圖案包括用以產生優化照射模式和優化圖案化裝置圖案的優化過程。

10.根據權利要求1所述的方法，其中，創建所述圖案化裝置圖案還包括：改變所述初始設計圖案的設計意圖，使得所述圖案化裝置圖案實現所述初始設計圖案的改變的設計意圖。

11.根據權利要求10所述的方法，其中，改變所述設計意圖包括處理將設計意圖作為設計變量并入的成本函數，和/或

其中，改變所述設計意圖包括處理具有設計或制造規則作為其約束或懲罰項的成本函數，和/或其中，改變所述設計意圖包括從以下項中選擇的一項或多項：偏移所述設計圖案的一個或多個特征的位置、偏置所述設計圖案的一個或多個特征的大小、將所述設計圖案的一個或多個特征分成兩個或更多個部分、和/或將所述設計圖案的兩個或更多個特征連接在一起。

12.根據權利要求11所述的方法，其中，創建所述圖案化裝置圖案包括評估縮小和/或復原過程模型。

13.一種用于優化圖案化裝置圖案的方法，所述方法包括：

獲得具有多個多邊形的初始設計圖案；

使所述多邊形中的至少一些多邊形有效地彼此連接；

關于所述多邊形放置評估特征；以及

生成跨越已連接的多邊形中的至少一些多邊形的引導輪廓，其中所述評估特征中的至少一些評估特征位于所述引導輪廓上。

14.一種用于優化圖案化裝置圖案的方法，所述方法包括：

獲得具有多個多邊形的初始設計圖案；

使所述多邊形中的至少一些多邊形有效地彼此連接；

關于已連接的多邊形放置評估特征；以及

基于所述評估特征，跨所述已連接的多邊形的連接點或交叉點來創建圖案化裝置圖案輪廓。

15.一種計算機程序產品，包括其上記錄有指令的計算機非暫時性可讀介質，所述指令在由計算機執行時實現權利要求1所述的方法。