[發(fā)明專利]具有亞波長厚度的壓電層的彈性波器件在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201780064907.6 | 申請(qǐng)日： | 2017-10-18 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN109891612A | 公開（公告）日： | 2019-06-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 后藤令;鄒杰;中村弘幸;C·S·林 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 天工方案公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L41/107 | 分類號(hào)： | H01L41/107;H01L41/187;H01L41/083;H01L41/047 |
| 代理公司： | 北京市正見永申律師事務(wù)所 11497 | 代理人： | 黃小臨 |
| 地址： | 美國馬*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 壓電層 彈性波器件 彈性波 高速層 亞波長 換能器電極 叉指型 反諧振 泄露 申請(qǐng) | ||
本申請(qǐng)的各方面涉及一種彈性波器件。所述彈性波器件包括亞波長厚度的壓電層、位于所述壓電層上的叉指型換能器電極、和具有比彈性波的速度更高的體速度的高速層。所述高速層可抑制彈性波在反諧振時(shí)從所述壓電層泄露。
相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用
本申請(qǐng)要求在2016年10月20日遞交的、名稱為“ELASTIC WAVE DEVICE”美國臨時(shí)專利申請(qǐng)No.62/410,804的優(yōu)先權(quán)，其公開內(nèi)容通過引用而合并于此。本申請(qǐng)要求在2016年11月17日遞交的、名稱為“ELASTIC WAVE DEVICE”的美國臨時(shí)專利申請(qǐng)No.62/423,705的優(yōu)先權(quán)，其公開內(nèi)容通過引用而合并于此。
技術(shù)領(lǐng)域
本申請(qǐng)涉及一種彈性波器件。
背景技術(shù)
彈性波器件可實(shí)現(xiàn)表面聲波諧振器。表面聲波諧振器可以包括位于壓電襯底上的叉指型換能器電極。表面聲波諧振器可以在壓電層的表面上生成表面聲波，叉指型換能器電極設(shè)置在壓電層上。表面聲波諧振器可以實(shí)現(xiàn)表面聲波濾波器。
表面聲波諧振器可以實(shí)施在射頻電子系統(tǒng)中。例如，移動(dòng)電話的射頻前端中的濾波器可以包括表面聲波濾波器。設(shè)計(jì)滿足或超過這種射頻系統(tǒng)的設(shè)計(jì)規(guī)格的表面聲波諧振器可能是具有挑戰(zhàn)性的。
發(fā)明內(nèi)容
在權(quán)利要求中描述的發(fā)明各自具有若干特征，其中沒有單個(gè)特征單獨(dú)承擔(dān)其期望的屬性。在不限制權(quán)利要求的范圍的情況下，現(xiàn)在將簡要描述本申請(qǐng)的一些突出特征。
本申請(qǐng)的一個(gè)方面是一種彈性波器件，其包括壓電層、在所述壓電層上的叉指型換能器電極、以及與所述壓電層物理接觸(physical contact)的高速層。所述壓電層具有在從-10°到60°的切割角度范圍內(nèi)的切割角度。所述叉指型換能器電極被配置為生成具有波長λ的彈性波。所述壓電層具有在從0.35λ到0.8λ的厚度范圍內(nèi)的厚度。所述高速層具有比彈性波的速度更高的體(bulk)速度。
所述壓電層可包括鈮酸鋰層。所述壓電層可包括鉭酸鋰層。所述壓電層的厚度可以在從0.4λ到0.75λ的范圍內(nèi)。
所述高速層可以是硅層。
所述壓電層的切割角度可以在-10°至50°的范圍內(nèi)。所述壓電層的切割角度可以在-10°至30°的范圍內(nèi)。所述壓電層的切割角度可以在從0°到30°的范圍內(nèi)。所述壓電層的切割角度可以在從10°到30°的范圍內(nèi)。所述壓電層的切割角度可以在從20°到30°的范圍內(nèi)。所述壓電層的切割角度可以在30°至40°的范圍內(nèi)。
所述叉指型換能器電極可包括鋁。在一些情況下，所述叉指型換能器電極的材料可以是鋁合金。所述叉指型換能器電極可以具有在從0.02λ到0.1λ的第二厚度范圍內(nèi)的厚度。
所述彈性波器件可還包括溫度補(bǔ)償層，所述溫度補(bǔ)償層被布置成使得所述叉指型換能器電極設(shè)置在所述溫度補(bǔ)償層和所述壓電層之間。所述溫度補(bǔ)償層可以包括二氧化硅。所述溫度補(bǔ)償層可具有小于0.5λ的厚度。
本申請(qǐng)的另一方面是一種彈性波器件，其包括鈮酸鋰層、在所述鈮酸鋰層上的叉指型換能器電極、以及與所述鈮酸鋰層物理接觸的硅襯底。所述鈮酸鋰層具有在從-10°到60°的切割角度范圍內(nèi)的切割角度。所述叉指型換能器電極被配置為生成具有波長λ的彈性波。所述鈮酸鋰層具有在從0.35λ到0.8λ的厚度范圍內(nèi)的厚度。
所述鈮酸鋰層的切割角度可以是從-10°至30°的范圍。所述鈮酸鋰層的切割角度可以是從15°到35°的范圍。所述鈮酸鋰層的切割角度可以是從20°到30°的范圍。
所述鈮酸鋰層的厚度可以在從0.4λ到0.75λ的范圍內(nèi)。
所述叉指型換能器電極可以包括鋁。所述叉指型換能器電極可以具有在從0.02λ到0.1λ的第二厚度范圍內(nèi)的厚度。
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