[發明專利]微波輸出裝置及等離子體處理裝置

有效

• 申請號: 201780063583.4
• 申請日: 2017-10-04
• 公開（公告）號: CN109845411B
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發明（設計）人: 金子和史;河田祐紀
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

1.一種微波輸出裝置，其具備：

微波產生部，產生具有分別與自控制器指示的設定頻率、設定功率及設定帶寬對應的中心頻率、功率及帶寬的微波；

輸出部，輸出自所述微波產生部傳播的微波；

第1方向性耦合器，輸出自所述微波產生部傳播至所述輸出部的行進波的一部分；及

第1測定部，基于自所述第1方向性耦合器輸出的所述行進波的所述一部分，確定表示所述輸出部中的所述行進波的功率的第1測定值，

所述第1測定部具有：

第1檢波部，使用二極管檢波，產生與所述行進波的所述一部分的功率對應的模擬信號；

第1A/D轉換器，將通過所述第1檢波部產生的模擬信號轉換為數字值；及

第1處理部，構成為自為了將由所述第1A/D轉換器產生的數字值校正為所述輸出部中的行進波的功率而預先設定的多個第1校正系數中，選擇與由所述控制器指示的所述設定頻率、所述設定功率、及所述設定帶寬建立對應的一個以上的第1校正系數，且將所選擇的該一個以上的第1校正系數與由所述第1A/D轉換器產生的所述數字值相乘，由此確定所述第1測定值。

2.根據權利要求1所述的微波輸出裝置，其中，

所述多個第1校正系數包含分別與多個設定頻率建立對應的多個第1系數、分別與多個設定功率建立對應的多個第2系數、及分別與多個設定帶寬建立對應的多個第3系數，

所述第1處理部構成為將所述多個第1系數中與由所述控制器指示的所述設定頻率建立對應的第1系數、所述多個第2系數中與由所述控制器指定的所述設定功率建立對應的第2系數、及所述多個第3系數中與由所述控制器指定的所述設定帶寬建立對應的第3系數,作為所述一個以上的第1校正系數，與由所述第1A/D轉換器產生的所述數字值相乘，由此確定所述第1測定值。

3.根據權利要求1所述的微波輸出裝置，其還具備：

第2方向性耦合器，將返回至所述輸出部的反射波的一部分輸出；及

第2測定部，基于自所述第2方向性耦合器輸出的所述反射波的一部分，確定表示所述輸出部中的所述反射波的功率的第2測定值，

所述第2測定部具有：

第2檢波部，使用二極管檢波，產生與所述反射波的一部分的功率對應的模擬信號；

第2A/D轉換器，將通過所述第2檢波部產生的模擬信號轉換為數字值；及

第2處理部，構成為自為了將由所述第2A/D轉換器產生的數字值校正為所述輸出部中的反射波的功率而預先設定的多個第2校正系數中，選擇與由所述控制器指示的所述設定頻率、所述設定功率、及所述設定帶寬建立對應的一個以上的第2校正系數，且將所選擇的該一個以上的第2校正系數與由所述第2A/D轉換器產生的所述數字值相乘，由此確定所述第2測定值。

4.根據權利要求3所述的微波輸出裝置，其中，

所述多個第2校正系數包含分別與多個設定頻率建立對應的多個第4系數、分別與多個設定功率建立對應的多個第5系數、及分別與多個設定帶寬建立對應的多個第6系數，

所述第2處理部構成為將所述多個第4系數中與由所述控制器指示的所述設定頻率建立對應的第4系數、所述多個第5系數中與由所述控制器指定的所述設定功率建立對應的第5系數、及所述多個第6系數中與由所述控制器指定的所述設定帶寬建立對應的第6系數作為所述一個以上的第2校正系數，與由所述第2A/D轉換器產生的所述數字值相乘，由此確定所述第2測定值。

5.根據權利要求3或4所述的微波輸出裝置，其中，

所述微波產生部具有以使所述第1測定值與所述第2測定值之差接近由所述控制器指定的所述設定功率的方式，調整該微波產生部所產生的所述微波的功率的功率控制部。

6.一種等離子體處理裝置，其具備：

腔室主體；及

權利要求1至5中任一項所述的微波輸出裝置，輸出用于使被供給至所述腔室主體內的氣體激發的微波。