[發明專利]滑動部件

有效

• 申請號: 201780063225.3
• 申請日: 2017-09-29
• 公開（公告）號: CN109906330B
• 公開（公告）日: 2021-12-14
• 發明（設計）人: 板谷壯敏;砂川和正;岡田哲三;千葉啟一;吉柳健二;木村忠弘;古賀晶子
• 申請（專利權）人: 伊格爾工業股份有限公司;NOK株式會社
• 主分類號: F16J15/34
• 分類號: F16J15/34;C23C16/27
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 鞠文軍;姚開麗

1.一種滑動部件，其特征在于，具備：圓環狀的固定側密封環，固定于固定側；及圓環狀的旋轉側密封環，與旋轉軸一同旋轉，通過使所述固定側密封環及所述旋轉側密封環的對置的各滑動面相對旋轉，對存在于該相對旋轉的所述滑動面的徑向一側的含有硅酸鹽的被密封流體進行密封，所述固定側密封環或所述旋轉側密封環的基材為碳化硅，

在所述固定側密封環或所述旋轉側密封環的至少任意一方的滑動面上具備使用不含硅化合物的烴氣體成膜的類金剛石碳膜，所述類金剛石碳膜中的來自所述基材的硅含量在1.5at％以下且含有1at％～20at％的氫。

2.根據權利要求1所述滑動部件，其特征在于，所述固定側密封環或所述旋轉側密封環的至少一方的滑動面具備動壓產生機構，所述動壓產生機構利用與所述固定側密封環或所述旋轉側密封環的相對旋轉而產生動壓。