[發明專利]搬運裝置以及搬運方法

有效

• 申請號: 201780061225.X
• 申請日: 2017-08-10
• 公開（公告）號: CN109789971B
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發明（設計）人: 安達成人
• 申請（專利權）人: 村田機械株式會社
• 主分類號: B65G1/04
• 分類號: B65G1/04;H01L21/68
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;田軍鋒

本發明的提供搬運裝置以及搬運方法，在適當的時機迅速且高精度地檢測載置于保管架的物品的姿勢或位置。搬運裝置(1)在能夠載置物品(2)的多個移載目的地之間移動，相對于移載目的地移載物品(2)，搬運裝置(1)具備：檢測部(14)，其在搬運裝置(1)將物品(2)移載到移載目的地后且在朝向其他移載目的地開始移動前，對該物品(2)的姿勢或者移載目的地處的物品(2)的位置進行檢測；以及判斷部(40)，其基于檢測部(14)的檢測結果，判斷移載目的地的物品2的姿勢或者位置是否處于預先設定的適當范圍內。

技術領域

本發明涉及搬運裝置以及搬運方法。

背景技術

在半導體制造工廠等制造工廠中，在儲料庫等自動倉庫，對半導體晶圓的搬運容器(FOUP)或標線片搬運用的標線片Pod等物品暫時進行保管而被進行。自動倉庫具備堆垛機等搬運裝置，利用該搬運裝置，將物品移載到保管架或者出入庫口等。另外，在自動倉庫中，由于要確認被移載至保管架的物品，提出利用設置于搬運裝置的電視攝像機，獲取物品的圖像(影像)，確認各保管架上的物品的存在，用于庫存管理等(例如，參照專利文獻1等)。

專利文獻1:日本特開平2-95605號公報

用于自動倉庫的搬運裝置以在保管架的規定位置載置物品的方式進行控制，但是有時由于某種因素，會從正常位置偏移而載置物品。這種情況下，在之后搬運裝置接收該物品時，無法適當地保持物品，有可能引起物品的落下等。另外，在搬運裝置無法適當地保持物品的情況下，有時會檢測到異常，使搬運裝置停止。在搬運裝置停止的情況下，操作人員要進入自動倉庫內確認狀況，需要腳手架的設置等對操作人員來說負擔較大的工作。并且，在操作人員進行確認的過程中，由于要停止自動倉庫的運轉，因此會成為降低制造工廠等的生產效率的因素。

發明內容

鑒于以上情況，本發明的目的在于提供能夠在適當的時機，迅速且高精度地對載置于保管架的物品的姿勢或位置進行檢測的搬運裝置以及搬運方法。

本發明所涉及的搬運裝置在能夠載置物品的多個移載目的地之間移動，相對于移載目的地移載物品，上述搬運裝置具備：檢測部，其在搬運裝置將物品移載到移載目的地后且在朝向其他移載目的地開始移動前，對該物品的姿勢或移載目的地處的物品的位置進行檢測；以及判斷部，其基于檢測部的檢測結果，對移載目的地的物品的姿勢或位置是否處于預先設定的適當范圍內進行判斷。

另外，判斷部也可以在搬運裝置將物品移載到移載目的地之后且在朝向其他移載目的地開始移動之前進行判斷。另外，判斷部也可以每當搬運裝置將物品載置于移載目的地便進行判斷。另外，也可以還具備移載裝置，上述移載裝置在前端側保持有物品的狀態下，能夠從待機位置相對于移載目的地進行伸縮，在相對于移載目的地伸展了的狀態下，將物品載置于移載目的地，檢測部在搬運裝置將物品載置到移載目的地之后，在移載裝置從伸展了的狀態至返回到待機位置的期間，進行檢測。另外，移載裝置也可以設置于能夠升降的升降臺，檢測部也可以設置于升降臺。另外，檢測部也可以獲取移載目的地以及載置到該移載目的地的物品的圖像，并基于圖像，對物品的姿勢或移載目的地處的位置進行檢測。另外，也可以具備照明部，上述照明部在檢測部進行檢測時，對移載目的地以及載置到該移載目的地的物品進行照明。另外，檢測部也可以基于拍攝設置于移載目的地的指標部與物品的特征部分而得的圖像，對物品的姿勢或移載目的地處的位置進行檢測。另外，也可以具備控制部，上述控制部在判斷部判斷為移載目的地的物品的姿勢或位置不處于適當范圍內時，進行規定的處理。

本發明所涉及的搬運方法為在能夠載置物品的多個移載目的地之間移動，相對于移載目的地移載物品的搬運方法，包括：在物品載置到移載目的地后，對該物品的姿勢或者移載目的地處的物品的位置進行檢測；以及基于檢測而得的結果，判斷移載目的地的物品的姿勢或位置是否處于預先設定的適當范圍內。

根據本發明所涉及的搬運裝置以及搬運方法，能夠在適當時機，迅速且高精度地對載置于保管架的物品的姿勢或位置進行檢測。