[發(fā)明專利]曝光裝置、平板顯示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780060676.1
• 申請日: 2017-09-29
• 公開（公告）號: CN109791370B
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發(fā)明（設計）人: 青木保夫
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F7/22;H01L21/68
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 王濤;任默聞

1.一種曝光裝置，其使由支撐部非接觸地支撐的物體相對于光學系統(tǒng)而相對移動，從而相對于所述物體進行掃描曝光，所述曝光裝置包括：

第1保持部，保持位于所述支撐部的上方的第1位置的所述物體的一部分；

第2保持部，保持所述一部分由所述第1保持部保持的所述物體的其他部分；

第1驅動部，于所述物體位于所述第1位置，并由所述第1保持部與所述第2保持部保持的狀態(tài)下，使所述第1保持部自所述物體的下方相對于所述物體朝與上下方向交叉的方向相對移動；以及

第2驅動部，使保持通過由所述第1驅動部進行的所述第1保持部相對于所述物體的相對移動而所述第1保持部的保持已被解除的所述物體的所述第2保持部，位于較所述第1位置更下方，朝所述物體非接觸地支撐于所述支撐部的第2位置移動；

所述第2驅動部于一邊相對于非接觸地支撐所述物體的所述支撐部相對移動一邊進行的所述掃描曝光中，使保持非接觸地支撐于所述支撐部的所述物體的所述第2保持部相對于所述光學系統(tǒng)而相對移動。

2.根據(jù)權利要求1所述的曝光裝置，其中所述第2保持部具有本體部、以及可相對于所述本體部而朝所述上下方向移動且使所述物體朝下方移動的驅動部，

所述曝光裝置進而包括將朝下方移動所述物體的所述驅動部與所述本體部的位置關系維持為規(guī)定范圍內的維持部。

3.根據(jù)權利要求2所述的曝光裝置，其中所述維持部連結所述驅動部與所述本體部并維持所述位置關系。

4.根據(jù)權利要求2所述的曝光裝置，其中所述維持部電性限制所述驅動部的驅動并維持所述位置關系。

5.根據(jù)權利要求2-4中任一項所述的曝光裝置，其中所述驅動部于借由所述維持部而維持與所述本體部的所述位置關系的狀態(tài)下，進行相對于所述支撐部的所述物體的位置調整。

6.根據(jù)權利要求5所述的曝光裝置，其中所述支撐部于所述位置調整中使氣體介隔存在于所述支撐部與所述物體之間而非接觸地支撐所述物體。

7.根據(jù)權利要求5所述的曝光裝置，其中所述驅動部于進行所述位置調整后，以使所述物體支撐于所述支撐部的方式移動所述第2保持部。

8.根據(jù)權利要求1-4中任一項所述的曝光裝置，其中所述第2保持部具有：第1保持構件，保持所述物體的一部分；以及第2保持構件，以借由所述第2保持部而朝下方移動的所述物體相對于所述支撐部而不旋轉的方式，保持所述物體的其他部分。

9.根據(jù)權利要求1-4中任一項所述的曝光裝置，其中所述第2驅動部借由所述第2保持部而使具有多個劃分區(qū)域且非接觸地被支撐的所述物體移動，從而變更成為所述掃描曝光的對象的所述劃分區(qū)域。

10.根據(jù)權利要求1-4中任一項所述的曝光裝置，其中所述第2保持部以可懸浮保持的方式保持所述物體的其他部分，且

所述第1驅動部使所述第2保持部于懸浮保持所述物體的其他部分的狀態(tài)下，以自所述物體的其他部分退避的方式使所述第2保持部移動。

11.根據(jù)權利要求1-4中任一項所述的曝光裝置，其中所述第1驅動部使所述第2保持部朝所述第1位置移動。

12.根據(jù)權利要求11所述的曝光裝置，其進而包括搬出支撐于所述支撐部上的其他物體的搬出裝置，

與所述搬出裝置搬出所述其他物體的動作至少一部分并行，所述第1驅動部使所述第1保持部自所述物體的下方退避。

13.根據(jù)權利要求12所述的曝光裝置，其中與所述搬出裝置搬出所述其他物體的動作至少一部分并行，所述第2驅動部使保持所述物體的其他部分的所述第2保持部朝下方移動。