[發明專利]流量控制閥和使用該流量控制閥的質量流量控制裝置有效
| 申請號： | 201780060608.5 | 申請日： | 2017-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN109804187B | 公開（公告）日： | 2020-10-16 |
| 發明（設計）人： | 佐佐木龍;巖吉亮一 | 申請（專利權）人： | 日立金屬株式會社 |
| 主分類號： | F16K1/42 | 分類號： | F16K1/42;F16K7/16;G05D7/00 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇;張會華 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 流量 控制 使用 質量 裝置 | ||
1.一種流量控制閥，
該流量控制閥具有：
閥座；
閥芯，其沿著與所述閥座的封閉面垂直的方向進行開閉動作；
彈性部件，其對所述閥芯向遠離所述封閉面的方向或靠近所述封閉面的方向賦予彈性力；以及
驅動部件，其向與所述彈性部件的彈性力相反的方向驅動所述閥芯，
其中，
所述閥座具有：外筒構件，其具有流體的流出通路，該流體的流出通路包括將內周側與外周側連通的一個或兩個以上的孔、以及與所述孔連通且形成在外周側的槽部；以及內筒構件，其配置在所述外筒構件的內周側，在內周側具有流體的流入通路，在上端部具有所述封閉面，
所述外筒構件的下部與所述內筒構件的下部氣密地嵌合在一起，
所述內筒構件的下部具有朝向外側延伸的凸緣部，
所述外筒構件的下部與所述凸緣部的外周氣密地嵌合在一起。
2.一種流量控制閥，
該流量控制閥具有：
閥座；
閥芯，其沿著與所述閥座的封閉面垂直的方向進行開閉動作；
彈性部件，其對所述閥芯向遠離所述封閉面的方向或靠近所述封閉面的方向賦予彈性力；以及
驅動部件，其向與所述彈性部件的彈性力相反的方向驅動所述閥芯，
其中，
所述閥座具有：外筒構件，其具有流體的流出通路，該流體的流出通路包括將內周側與外周側連通的一個或兩個以上的孔、以及與所述孔連通且形成在外周側的槽部；以及內筒構件，其配置在所述外筒構件的內周側，在內周側具有流體的流入通路，在上端部具有所述封閉面，
所述外筒構件的下部與所述內筒構件的下部氣密地嵌合在一起，
所述外筒構件的下部具有朝向內側延伸的凸緣部，
所述內筒構件的下部與所述凸緣部的內周氣密地嵌合在一起。
3.根據權利要求1或2所述的流量控制閥，其中，
所述外筒構件的上端部的位置構成為比所述內筒構件的封閉面的位置高，且兩者的高度差大于所述閥芯的厚度。
4.根據權利要求1或2所述的流量控制閥，其中，
該流量控制閥還具有金屬制的膜片，該膜片被設為分別與所述外筒構件的上端部和所述閥芯的上表面接觸，
所述驅動部件被設為同所述膜片的與所述閥芯的上表面接觸的面的相反側的面接觸，所述驅動部件隔著所述膜片地對所述閥芯進行驅動。
5.根據權利要求1或2所述的流量控制閥，其中，
所述閥座的封閉面的算術平均粗糙度為100納米以下。
6.一種質量流量控制裝置，
該質量流量控制裝置具有：
流量計，其用于測量流體的流量；
流量控制閥，其用于控制流體的流量；以及
控制回路，其基于來自所述流量計的流量信號控制所述流量控制閥的閥開度，
其中，
所述流量控制閥是權利要求1～5中的任意一項所述的流量控制閥。
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