[發明專利]移動體裝置、移動方法、曝光裝置、曝光方法、平板顯示器的制造方法、以及元件制造方法

有效

• 申請號: 201780058140.6
• 申請日: 2017-09-29
• 公開（公告）號: CN109791364B
• 公開（公告）日: 2021-04-27
• 發明（設計）人: 青木保夫
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/68
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 王濤;任默聞

1.一種移動體裝置，具備：

第1移動體，其能保持物體、并往彼此交叉的第1及第2方向移動；

第2移動體，其能往該第2方向移動；

基準構件，其于該第1及第2方向，作為該第1移動體的移動的基準；

第1測量系統，通過多個第1讀頭與第1格子構件取得該第1移動體相對該基準構件的位置信息，該多個第1讀頭設在該第1及第2移動體的一方，該第1格子構件設在該第1及第2移動體的另一方且具有該第1及第2方向的測量成分并可通過于該第1方向彼此分離配置的多個格子區域測量該第1移動體于該第1方向的移動范圍；

第2測量系統，通過第2讀頭與第2格子構件取得該第2移動體相對該基準構件的位置信息，該第2讀頭設在該第2移動體與該基準構件中的一方，該第2格子構件設在該第2移動體與該基準構件中的另一方且具有該第1及第2方向的測量成分并可測量該第2移動體于該第2方向的移動范圍；以及

控制系統，根據該多個第1讀頭中、測量光束照射于該多個格子區域中的至少1個格子區域的至少3個讀頭的測量信息、與以該第2測量系統取得的位置信息，控制相對于該基準構件的該第1及第2方向的該第1移動體的位置；

該第1測量系統，一邊使該第1讀頭相對該第1格子構件往該第1方向移動、一邊對該第1格子構件照射測量光束以取得該第1移動體的位置信息；

該第2測量系統，一邊使該第2讀頭相對該第2格子構件往該第2方向移動、一邊對該第2格子構件照射測量光束以取得該第2移動體的位置信息；

該多個第1讀頭，分別在該第1移動體往該第1方向的移動中，該測量光束從該多個格子區域的1個格子區域脫離，并移至與該1個格子區域相鄰的另一格子區域；

該控制系統，將用以使用該多個第1讀頭中、與該測量光束從該1個格子區域脫離而移至該另一格子區域的該至少3個讀頭不同的讀頭控制該第1移動體的移動的修正信息，根據該至少3個讀頭的測量信息或使用該至少3個讀頭測量的該第1移動體的位置信息加以取得。

2.如權利要求1所述的移動體裝置，其中，該修正信息，在包含該至少3個讀頭與該不同讀頭的至少4個讀頭各個的該測量光束，照射在包含該另一格子區域的該多個格子區域中的至少1個的期間取得。

3.如權利要求1或2所述的移動體裝置，其中，該修正信息，在該至少3個讀頭中的1個的該測量光束從包含該另一格子區域的該多個格子區域中的至少1個脫離前取得。

4.如權利要求1或2所述的移動體裝置，其中，該第1測量系統，在該至少3個讀頭中的1個的該測量光束從包含該另一格子區域的該多個格子區域中的至少1個脫離前，取代該至少3個讀頭的1個，使用包含已取得該修正信息的該不同讀頭的至少3個讀頭，測量該第1移動體的位置信息。

5.如權利要求1或2所述的移動體裝置，其中，該控制系統，在該至少3個讀頭的1個的該測量光束從包含該另一格子區域的該多個格子區域中的至少1個脫離前，將使用該至少3個讀頭的該第1移動體的移動控制，切換為取代該至少3個讀頭的1個而使用包含已取得該修正信息的該不同讀頭的至少3個讀頭的該第1移動體的移動控制。

6.如權利要求1或2所述的移動體裝置，其中，該第1格子構件，具有于該第2方向位置與該多個格子區域不同、且于該第1方向彼此分離配置的與該多個格子區域不同的另一多個格子區域；

該多個讀頭的至少1個，該測量光束照射于該另一多個格子區域的至少1個、且取代該測量光束照射于該多個格子區域的至少1個格子區域的該至少3個讀頭的至少1個，被用于該第1移動體的位置信息的測量。