[發明專利]元素分析裝置和元素分析方法

有效

• 申請號: 201780057514.2
• 申請日: 2017-09-22
• 公開（公告）號: CN109716481B
• 公開（公告）日: 2022-07-26
• 發明（設計）人: 井上貴仁;內原博;笹井浩平;池山俊広
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場制作所;株式會社堀場STEC
• 主分類號: H01J49/04
• 分類號: H01J49/04;G01N27/62;G01N31/12
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 周善來;李雪春

1.一種元素分析裝置，其特征在于，

所述元素分析裝置包括：

加熱爐，邊導入載氣邊加熱放入有試樣的坩堝，使所述試樣的至少一部分汽化而生成試樣氣體；

四極質譜儀，在真空氣氛下提取混合氣體中的所述試樣氣體所含的元素并進行定量分析，所述混合氣體從所述加熱爐導出且包含所述載氣和所述試樣氣體；

第一調壓器，控制導入所述加熱爐的所述載氣的壓力并進行減壓；

第二調壓器，控制導入所述四極質譜儀的所述混合氣體的壓力并進行減壓；以及

流量調節閥，通過限制由所述第二調壓器減壓后的混合氣體的流量，從而進一步對所述混合氣體的壓力進行減壓，

利用所述第一調壓器、所述第二調壓器和所述流量調節閥，將導入所述四極質譜儀的混合氣體的壓力階段性地減壓到真空氣氛。

2.根據權利要求1所述的元素分析裝置，其特征在于，所述元素分析裝置還包括真空室，所述真空室與所述四極質譜儀連接，從所述第二調壓器導出的所述混合氣體全量導入所述真空室。

3.根據權利要求1所述的元素分析裝置，其特征在于，所述元素分析裝置還包括抽吸泵，所述抽吸泵設置在分支管道上，對壓力被所述第二調壓器控制了的所述混合氣體進行抽吸，所述分支管道從所述第二調壓器和所述四極質譜儀之間分支并延伸。

4.根據權利要求1所述的元素分析裝置，其特征在于，通過所述第一調壓器，將導入所述加熱爐的所述載氣的壓力控制在20kPa以上80kPa以下的范圍內。

5.根據權利要求1所述的元素分析裝置，其特征在于，所述試樣是含Ar的試樣。

6.根據權利要求1所述的元素分析裝置，其特征在于，

所述元素分析裝置包括信息處理裝置，所述信息處理裝置根據基準分析數據和測量分析數據對所述試樣氣體所含的元素進行定量分析，

所述基準分析數據表示邊向所述加熱爐導入所述載氣邊加熱放入有含有所述試樣的主成分的入浴劑的所述坩堝、邊向所述加熱爐導入所述載氣邊不放入所述試樣地加熱所述坩堝、將從所述加熱爐導出的所述載氣導入所述四極質譜儀而得到的電流強度的經時變化，

所述測量分析數據表示邊向所述加熱爐導入所述載氣邊放入所述試樣并加熱所述坩堝、將從所述加熱爐導出且包含所述載氣和所述試樣氣體的所述混合氣體導入所述四極質譜儀而得到的電流強度的經時變化。

7.一種元素分析方法，其對將試樣汽化而生成的試樣氣體所含的元素進行定量分析，所述元素分析方法的特征在于，

邊利用第一調壓器向加熱爐導入減壓到20kPa以上80kPa以下范圍內的載氣邊加熱所述加熱爐的放入有含有所述試樣的主成分的入浴劑的坩堝，

邊向所述加熱爐導入所述載氣邊加熱所述加熱爐的放入有含Ar的試樣的所述坩堝而生成試樣氣體，

利用第二調壓器，將從所述加熱爐導出且包含載氣和試樣氣體的混合氣體減壓到規定的壓力，

通過利用流量調節閥限制由所述第二調壓器減壓到規定的壓力的所述混合氣體的流量，從而將所述混合氣體的壓力進一步減壓到1.5Pa以下并導入四極質譜儀，提取所述試樣氣體所含的元素并進行定量分析。

8.根據權利要求7所述的元素分析方法，其特征在于，

邊向所述加熱爐導入壓力20kPa以上80kPa以下范圍內的載氣邊加熱所述加熱爐的放入有含有所述試樣的主成分的入浴劑的所述坩堝、邊向所述加熱爐導入所述載氣邊加熱所述加熱爐的未放入有所述試樣的所述坩堝、將從所述加熱爐導出的載氣減壓到1.5Pa以下并導入四極質譜儀，取得表示電流強度的經時變化的基準分析數據，

邊向所述加熱爐導入所述載氣邊加熱所述加熱爐的放入有含Ar的試樣的所述坩堝而生成試樣氣體、將從所述加熱爐導出且包含所述載氣和所述試樣氣體的混合氣體減壓到1.5Pa以下并導入四極質譜儀，取得表示電流強度的經時變化的測量分析數據，

根據所述基準分析數據和所述測量分析數據，對所述試樣氣體所含的元素進行定量分析。