[發明專利]用于流量標定的基準體積物的系統和方法

有效

• 申請號: 201780057491.5
• 申請日: 2017-09-19
• 公開（公告）號: CN109891199B
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發明（設計）人: B·索曼尼;E·J·雷德曼
• 申請（專利權）人: 流體設備系統有限公司
• 主分類號: G01F1/50
• 分類號: G01F1/50;G01F15/02;G01F15/14;G01D3/036
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 石偉

1.一種用于基準體積物測量的系統，包括：

基準體積物腔室，具有用于流體通過所述基準體積物腔室的入口部分和出口部分；

所述基準體積物腔室的內部區域，具有底壁、頂壁、中心壁和側壁，其中所述中心壁從所述底壁的中部延伸而不與所述頂壁結合，從而形成用于流體運動的間隙；

所述基準體積物腔室的外壁，被導熱蓋包圍，以提供導熱，使得所述基準體積物腔室中的流體的溫度受到環境影響；以及

所述中心壁和所述側壁能夠與一個或多個傳感器或可編程邏輯控制器PLC固定，

其中所述基準體積物腔室還包括鰭狀件，其橫截面和長度與相鄰間隙流體區域的橫截面和長度相當。

2.根據權利要求1所述的用于基準體積物測量的系統，其中，所述一個或多個傳感器是選自負溫度系數NTC熱敏電阻、電阻溫度檢測器RTD、熱電偶或基于半導體的傳感器的組群中的熱傳感器。

3.根據權利要求1所述的用于基準體積物測量的系統，其中，所述一個或多個傳感器是選自絕對壓力傳感器。

4.根據權利要求1所述的用于基準體積物測量的系統，其中，所述一個或多個傳感器是表壓傳感器。

5.根據權利要求1所述的用于基準體積物測量的系統，其中，所述一個或多個傳感器是真空壓力傳感器。

6.根據權利要求1所述的用于基準體積物測量的系統，其中，所述一個或多個傳感器是差壓傳感器。

7.根據權利要求1所述的用于基準體積物測量的系統，其中，所述一個或多個傳感器是密封壓力傳感器。

8.根據權利要求1所述的用于基準體積物測量的系統，其中，所述中心壁具有管狀結構并直接連接到所述基準體積物腔室的出口部分。

9.根據權利要求1所述的用于基準體積物測量的系統，其中，所述可編程邏輯控制器使用來自包括功能塊圖FBD、梯形圖LD、結構化文本ST、指令列表IL和順序功能圖SFC的組群中的編程語言。

10.根據權利要求1所述的用于基準體積物測量的系統，其中，所述側壁具有鰭狀結構，所述中心壁、所述底壁和所述頂壁由耐腐蝕合金制成。

11.根據權利要求1所述的用于基準體積物測量的系統，其中，內側壁、所述中心壁、所述底壁和所述頂壁用耐腐蝕涂層處理。

12.根據權利要求1所述的用于基準體積物測量的系統，其中，所述側壁、所述中心壁、所述底壁和所述頂壁覆蓋有耐腐蝕金屬絲網。

13.根據權利要求1所述的用于基準體積物測量的系統，其中，所述流體是半導體工業氣體。

14.根據權利要求13所述的用于基準體積物測量的系統，其中，所述半導體工業氣體選自包括氯氣和六氟乙烷、水蒸氣、三氯化硼、硅烷、氬氣和氮氣的組群。

15.根據權利要求1所述的用于基準體積物測量的系統，其中，所述側壁、所述中心壁、所述底壁和所述頂壁由選自包括鉻、不銹鋼、鈷、鎳、鐵、鈦和鉬的組群中的材料制成。

16.根據權利要求1所述的用于基準體積物測量的系統，其中，所述導熱蓋選自包括銅或鋁的組群。

17.根據權利要求1所述的用于基準體積物測量的系統，其中，所述導熱蓋通過選自包括機械夾緊、用導熱粘合劑粘合、釬焊或收縮配合方法論的組群中的方法而附接到所述基準體積物腔室的外壁。