[發(fā)明專利]小型化波導(dǎo)成像光譜儀有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201780056865.1 | 申請日： | 2017-07-05 |
| 公開（公告）號： | CN110023727B | 公開（公告）日： | 2021-12-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | M·馬迪;E·阿爾貝蒂;I·邵魯巴爾科 | 申請（專利權(quán)）人： | 米科斯工程有限公司;聯(lián)邦材料測試與開發(fā)研究所 |
| 主分類號： | G01J3/02 | 分類號： | G01J3/02;G01J3/453 |
| 代理公司： | 隆天知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003 | 代理人： | 黃艷;鄭特強(qiáng) |
| 地址： | 瑞士杜*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 小型化 波導(dǎo) 成像 光譜儀 | ||
1.波導(dǎo)光譜儀(1)，包括具有至少一個波導(dǎo)的至少一個基底層(10)，所述波導(dǎo)從部分通過所述基底層(10)的入口面(12)延伸到反射元件(13)，
其中，多個光檢測器(14)布置在所述基底層(10)的前側(cè)(I)上，允許在所述光檢測器(14)的位置處從所述波導(dǎo)外耦合隱失場，同時所述光檢測器(14)能應(yīng)用為隱失場采樣器，所述隱失場采樣器均電連接到電讀出系統(tǒng)，
其中，
所述波導(dǎo)是表面波導(dǎo)(11、11′、11″、11″′)，展現(xiàn)出位于所述入口面(12)與所述反射元件(13)之間朝向所述基底層(10)的前側(cè)(I)的具有寬度(D)的縱向開口(110)，
同時所述光檢測器(14、14′、14″、14″′)印刷分布在所述基底層(10)的頂部上的前側(cè)(I)處，沿著采樣區(qū)域的總長度(ls)與所述表面波導(dǎo)(11)的縱向開口(110)至少部分地交疊，
并且通過多個印刷的電導(dǎo)體(15)實現(xiàn)光檢測器(14、14′、14″、14″′)與所述電讀出系統(tǒng)的電連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)光譜儀(1)，其中，所述電導(dǎo)體(15)沿所述基底層(10)的前側(cè)(I)突出，伸向所述基底層(10)的兩端的端面，以提高與所述電讀出系統(tǒng)的簡單電連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的波導(dǎo)光譜儀(1)，其中，所述光檢測器(14)是片狀性質(zhì)的。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的波導(dǎo)光譜儀(1)，其中，所述光檢測器(14、14′、14″、14″′)包括能印刷的碳基納米結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)光譜儀(1)，其中，所述基底層(10)包括LiNbO3或硼硅玻璃。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)光譜儀(1)，其中，所述至少一個表面波導(dǎo)(11、11′、11″、11″′)直接刻寫到所述基底層(10)中。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)光譜儀(1)，其中，一吸光涂層(100)涂覆在所述基底層(10)的后側(cè)(II)上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)光譜儀(1)，其中，一中間基底層(16)利用所述基底層(10)的前側(cè)(I)固定在所述基底層(10)上，所述中間基底層的后側(cè)上包括抗反射涂層(160)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)光譜儀(1)，其中，在一個所述基底層(10)中多個表面波導(dǎo)(11、11′、11″、11″′)被布置為構(gòu)建表面波導(dǎo)排，每個表面波導(dǎo)均展現(xiàn)出位于所述入口面(12)與所述反射元件(13)之間朝向所述基底層(10)的前側(cè)(I)的縱向開口(110)，同時所述光檢測器(14、14′、14″、14″′)分布在所述基底層(10)的頂部上的前側(cè)(I)處，至少部分地橋接所述表面波導(dǎo)(11)的縱向開口(110)，并且通過多個印刷的所述電導(dǎo)體(15)實現(xiàn)所述光檢測器(14、14′、14″、14″′)與所述電讀出系統(tǒng)的電連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)光譜儀(1)，其中，多個所述基底層分別包括多個表面波導(dǎo)(11、11′、11″、11″′)，而且多個所述基底層通過將所述基底層(10、10′、10″、10″′)的后側(cè)(II)與相鄰基底層(10、10′、10″、10″′)的前側(cè)(I)連接而堆疊，構(gòu)建具有若干個基底層(10、10′、10″、10″′)的疊層(1″)。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的波導(dǎo)光譜儀(1)，其中，一光譜儀疊層(1″′)被構(gòu)建為，包括具有連接的所述中間基底層(16)的多個基底層(10)。
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