[發明專利]用于感測在測量氣體室中的測量氣體的顆粒的傳感器元件

在審

• 申請號: 201780056822.3
• 申請日: 2017-08-14
• 公開（公告）號: CN109716101A
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發明（設計）人: S·勒施;J·施奈德;S·羅德瓦爾德;C·福瑙
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G01N15/06
• 分類號: G01N15/06;G01N27/404;G01N1/22
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.用于感測在測量氣體室中的測量氣體的顆粒的傳感器元件(110)，其中，所述傳感器元件(110)包括至少一個載體(114)，其中，在所述載體(114)上施加有至少一個第一電極裝置(116)和至少一個第二電極裝置(118)，其中，所述第一電極裝置(116)和所述第二電極裝置(118)分別具有至少一個電極指(112)，其中，所述電極指(112)具有層構造(120)，其中，所述層構造(120)包括至少一個第一金屬層(124)和至少一個第二金屬層(124)。

2.根據前述權利要求所述的傳感器元件(110)，其中，所述第一電極裝置(116)和所述第二電極裝置(118)分別具有至少兩個電極指(112)。

3.根據前述權利要求中任一項所述的傳感器元件(110)，其中，所述第一金屬層(122)包括從一個組中選擇出的至少一種材料，該組由以下材料組成：純金屬，尤其是從由鉑和鈀組成的組中選擇出的純金屬；合金，尤其是包括金屬鉑和/或鈀中的至少一種金屬的合金；金屬陶瓷復合材料，其中，金屬、尤其是從由鉑和鈀組成的組中選擇出的金屬在所述金屬陶瓷復合材料中所占質量含量超過50％。

4.根據前述權利要求中任一項所述的傳感器元件(110)，其中，所述第二金屬層(124)包括從一個組中選擇出的至少一種材料，該組由以下材料組成：純金屬，尤其是銠、銥或錸；合金，尤其是包括金屬銠、銥或錸中的至少一種金屬的合金；金屬陶瓷復合材料，其中，金屬、尤其是從由銠、銥和錸組成的組中選擇出的金屬在所述金屬陶瓷復合材料中所占質量含量超過50％。

5.根據前述權利要求中任一項所述的傳感器元件(110)，其中，所述第一金屬層(122)的厚度處于0.1μm至50μm的范圍內。

6.根據前述權利要求中任一項所述的傳感器元件(110)，其中，所述第二金屬層(124)的厚度處于0.01μm至15μm的范圍內。

7.根據前述權利要求中任一項所述的傳感器元件(110)，其中，所述電極指(112)的厚度與所述電極指(112)的寬度的商處于0.03至0.6的范圍內。

8.用于制造用于感測在測量氣體室中的測量氣體的顆粒的傳感器元件(110)的方法，其中，所述方法包括以下步驟：

a)提供至少一個載體(114)；

b)將至少一個第一電極裝置(116)和至少一個第二電極裝置(118)施加到所述至少一個載體(114)上，其中，所述第一電極裝置(116)和所述第二電極裝置(118)分別具有至少一個電極指(112)，其中，所述電極指(112)具有層構造(120)，其中，所述層構造(120)具有至少一個第一金屬層(122)和至少一個第二金屬層(124)。

9.根據前一權利要求所述的方法，其中，步驟b)包括下面的分步驟：

b1)施加第一金屬層(122)；和

b2)將第二金屬層(124)施加到所述第一金屬層(122)上。

10.根據前一權利要求所述的方法，其中，步驟b)還包括下面的分步驟：

b3)焙燒所述第二金屬層(124)。

11.根據前面兩個權利要求中任一項所述的方法，其中，在步驟b1)和b2)中使用不同的涂覆方法以施加所述第一金屬層(122)和所述第二金屬層(124)。