[發(fā)明專(zhuān)利]電掃描器及反射鏡單元

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780055340.6
• 申請(qǐng)日: 2017-08-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109690383B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高橋悌史;竹田浩之;森剛;高橋尚弘;矛館俊之
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 三菱電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G02B26/10
• 分類(lèi)號(hào): G02B26/10;B23K26/082
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 何立波;張?zhí)焓?/td>

電掃描器(1)具有：反射鏡(2)，其將激光反射而偏轉(zhuǎn)；軸部(14)，其以旋轉(zhuǎn)軸(6)為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；裝配部(3)，其對(duì)反射鏡(2)進(jìn)行固定，并且形成將軸部(14)的一端部插入的第1孔(3b)而被固定于軸部(14)；第1軸承(12)，其將軸部(14)能夠以旋轉(zhuǎn)軸(6)為中心旋轉(zhuǎn)地支撐；以及第2軸承(13)，其設(shè)置在隔著第1軸承(12)而與反射鏡(2)的相反側(cè)，將軸部(14)能夠以旋轉(zhuǎn)軸(6)為中心旋轉(zhuǎn)地支撐。在第1軸承(12)的內(nèi)圈(12a)的內(nèi)側(cè)嵌入有裝配部(3)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及通過(guò)電動(dòng)機(jī)使反射鏡的角度變化而對(duì)激光進(jìn)行掃描的電掃描器及反射鏡單元。

背景技術(shù)

以往，為了在激光開(kāi)孔加工中對(duì)激光進(jìn)行掃描而使用電掃描器。如專(zhuān)利文獻(xiàn)1所示，電掃描器具有：反射鏡，其也被稱為電控反射鏡；以及電動(dòng)機(jī)，其使反射鏡旋轉(zhuǎn)。

反射鏡粘接于反射鏡裝配件。反射鏡裝配件使用固定部件和固定螺釘，能夠裝卸地固定于作為電動(dòng)機(jī)的軸的軸部。即，反射鏡經(jīng)由反射鏡裝配件而固定于電動(dòng)機(jī)的軸部。另外，電動(dòng)機(jī)具有將軸部能夠旋轉(zhuǎn)地支撐的軸承。軸承在與反射鏡裝配隔開(kāi)距離的位置處將軸部能夠旋轉(zhuǎn)地支撐。

反射鏡通過(guò)固定于電動(dòng)機(jī)的軸部，從而能夠進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。通過(guò)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)而使反射鏡的角度變化，由此激光的反射角度變化。通過(guò)激光的反射角度的變化，對(duì)激光進(jìn)行掃描。

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2002－6255號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

在諸如上述結(jié)構(gòu)的電掃描器中，反射鏡的重心及反射鏡裝配件的重心如果從軸部的旋轉(zhuǎn)軸偏離，則有時(shí)會(huì)發(fā)生反射鏡在與軸部的旋轉(zhuǎn)軸垂直的方向振動(dòng)的所謂面傾斜振動(dòng)。如果面傾斜振動(dòng)的振幅變大，則激光的掃描精度降低。

面傾斜振動(dòng)是在與反射鏡最接近的位置處以支撐軸部的軸承為支點(diǎn)而發(fā)生的振動(dòng)。因此，從對(duì)軸部進(jìn)行支撐的軸承至反射鏡的前端為止的距離越大，則面傾斜振動(dòng)的振幅越容易變大。另外，在與軸承相比成為反射鏡側(cè)的部分中沒(méi)有被軸承直接支撐的部分的重量越重，則面傾斜振動(dòng)的振幅越容易變大。此外，在上述結(jié)構(gòu)的電掃描器中，在與軸承相比成為反射鏡側(cè)的部分中沒(méi)有被軸承直接支撐的部分中包含有反射鏡裝配件和反射鏡。

本發(fā)明就是鑒于上述情況而提出的，其目的在于，得到能夠?qū)崿F(xiàn)面傾斜振動(dòng)的振幅的抑制的電掃描器。

為了解決上述的課題并達(dá)到目的，本發(fā)明所涉及的電掃描器具有：反射鏡，其將激光反射而偏轉(zhuǎn)；軸部，其以旋轉(zhuǎn)軸為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；裝配部，其對(duì)反射鏡進(jìn)行固定，并且形成將軸部的一端部插入的第1孔而被固定于軸部；第1軸承，其將軸部能夠以旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)地支撐；以及第2軸承，其設(shè)置在隔著第1軸承而與反射鏡的相反側(cè)，將軸部能夠以旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)地支撐。在第1軸承的內(nèi)圈的內(nèi)側(cè)，嵌入有裝配部。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明所涉及的電掃描器，具有能夠?qū)崿F(xiàn)面傾斜振動(dòng)的振幅的抑制這樣的效果。

附圖說(shuō)明

圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1所涉及的電掃描器的外觀的正視圖。

圖2是表示實(shí)施方式1所涉及的電掃描器的外觀的俯視圖。

圖3是通過(guò)圖2所示的III－III線將電掃描器切斷后的剖視圖。

圖4是通過(guò)圖1所示的IV－IV線將電掃描器切斷后的剖視圖。

圖5是實(shí)施方式1中的裝配部的正視圖。

圖6是實(shí)施方式1中的裝配部的俯視圖。

圖7是實(shí)施方式1中的裝配部的側(cè)視圖。

圖8是實(shí)施方式1中的固定件的正視圖。

圖9是實(shí)施方式1中的固定件的俯視圖。

圖10是實(shí)施方式1中的固定件的側(cè)視圖。