[發明專利]干涉確定光學表面的形狀的測量裝置

有效

• 申請號: 201780054763.6
• 申請日: 2017-07-19
• 公開（公告）號: CN109716056B
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: J.赫茨勒
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司SMT有限責任公司
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 王蕊瑞

1.由干涉法確定測試物的光學表面的形狀的測量設備，包括：

-產生照明波的照明模塊，

-干涉儀，所述干涉儀配置為將所述照明波分裂成參考波和被指引到所述光學表面上的測試波，所述參考波和所述測試波關于彼此傾斜，使得通過疊加所述參考波和所述測試波在所述干涉儀的檢測平面中產生多條紋干涉圖案，

其中所述照明模塊具有在所述檢測平面的傅里葉平面中布置的光瞳平面，并且所述照明模塊配置為產生所述照明波，使得所述光瞳平面中的照明波的強度分布包括一個空間上隔離且連續的表面區域，所述表面區域配置為使得具有與所述表面區域配合的最小可能面積的矩形具有至少1.5∶1的縱橫比，

其中所述連續的表面區域設計為弧形條紋。

2.由干涉法確定測試物的光學表面的形狀的測量設備，包括：

-產生照明波的照明模塊，

-干涉儀，所述干涉儀配置為將所述照明波分裂成參考波和被指引到所述光學表面上的測試波，所述參考波和所述測試波關于彼此傾斜，使得通過疊加所述參考波和所述測試波在所述干涉儀的檢測平面中產生多條紋干涉圖案，

其中所述照明模塊具有在所述檢測平面的傅里葉平面中布置的光瞳平面，并且所述照明模塊配置為產生所述照明波，使得所述光瞳平面中的照明波的強度分布包括多個空間上隔離且連續的表面區域，所述多個空間上隔離且連續的表面區域配置為使得具有與所述多個表面區域配合的最小可能面積的矩形具有至少1.5∶1的縱橫比，

其中形式上與所述多個空間上隔離且連續的表面區域適配的覆蓋表面設計為弧形條紋。

3.根據權利要求1或2所述的測量設備，

其中所述照明模塊中分配到所述光瞳平面的光瞳由環形形狀的邊緣定界，并且所述弧形條紋配置為使得所述條紋上至少存在將所述光瞳細分成兩個部分的切線，所述兩個部分的面積相差不超過20倍。

4.根據權利要求3所述的測量設備，

其中所述條紋中的包括總共至少20％的條紋的至少一個部分上的每個切線各將所述光瞳細分成兩個部分，所述兩個部分的面積相差不超過20倍。

5.根據權利要求1或2所述的測量設備，

其中所述照明模塊中分配到所述光瞳平面的光瞳由環形形狀邊緣定界，并且所述條紋橫向地延伸到所述光瞳的邊緣。

6.根據權利要求1或2所述的測量設備，

其中所述光瞳平面中的強度分布包括多個弧形條紋。

7.根據權利要求1或2所述的測量設備，

其中由測試路徑長度和參考路徑長度之間的差來限定對于所述檢測平面中的場點的所述光瞳平面中的光瞳點的路徑長度差，其中所述測試路徑長度是由所述測試波的輻射從所述光瞳點行進到所述檢測平面中的場點的路徑長度，并且所述參考路徑長度是由所述參考波的輻射從所述光瞳點行進到所述檢測平面中的場點的路徑長度，并且其中所述條紋沿著所述場點的路徑長度差的等位曲線延伸。

8.根據權利要求7所述的測量設備，

其中所述光瞳平面中的強度分布包括多個弧形條紋，所述多個弧形條紋沿著所述場點的路徑長度差的等位曲線在所述光瞳平面中延伸，其中所述等位曲線相差照明波的波長的整數倍。

9.根據權利要求1或2所述的測量設備，

其中所述干涉儀配置為將與所述光學表面相互作用之后的測試波和所述參考波合并在重疊的束路徑中，其中所述參考波關于所述測試波傾斜了傾斜角β，為此以下是成立的：β＞100·λ/D，其中λ是所述照明波的波長，以及D是所述參考波與所述測試波合并到所述重疊的束路徑中的位置處的所述參考波的束直徑。