[發明專利]帶透明導電膜的基板的制造方法、帶透明導電膜的基板的制造裝置及帶透明導電膜的基板

有效

• 申請號: 201780053763.4
• 申請日: 2017-09-12
• 公開（公告）號: CN109642307B
• 公開（公告）日: 2020-04-10
• 發明（設計）人: 大野幸亮;高橋明久;白井雅紀;小林大士
• 申請（專利權）人: 株式會社愛發科
• 主分類號: C23C14/02
• 分類號: C23C14/02;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/58;G06F3/041;H01B13/00
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 樸圣潔;王珍仙

本發明的帶透明導電膜的基板的制造方法為以與絕緣性的透明基板相接的方式配置透明導電膜的帶透明導電膜的基板的制造方法，至少依次具備：步驟α，在設為希望的減壓氣氛的熱處理空間中，將所述透明基板控制到規定的成膜前溫度；步驟β，在設為希望的工藝氣體氣氛的成膜空間中，對成為所述透明導電膜的母材的靶施加濺射電壓并進行濺射，在設為規定的溫度的所述透明基板上形成所述透明導電膜；以及步驟γ，在大氣氣氛中，對形成在所述透明基板上的所述透明導電膜進行后加熱處理，所述步驟α中的所述成膜前溫度為零度以下。

技術領域

本發明涉及在低溫工藝的制造條件中，可得到良好的電特性的、帶透明導電膜的基板的制造方法、帶透明導電膜的基板的制造裝置及帶透明導電膜的基板。

本申請基于2016年9月12日于日本申請的特愿2016-177966號主張優先權，在此援用其內容。

背景技術

觸摸面板(也稱為觸摸傳感器)是通過操作者用手指或筆觸摸顯示畫面上的透明的面，從而檢測出接觸的位置并可輸入數據的輸入裝置的構成要素，與鍵盤輸入相比可實現更直接、且更直觀的輸入。因此，近年來，以移動電話、智能手機為代表的便攜信息終端、車載導航系統、各種游戲機開始，多用于各種各樣的電子機器的操作部。

所述觸摸面板，作為輸入裝置，可以在液相面板和有機EL面板等平面型顯示裝置的顯示畫面上貼合使用。觸摸面板的檢測方式有電阻式、靜電容量式、超聲波式、光學式等多種，其結構多種多樣。其中，近年來，智能手機用途的觸摸面板中，靜電容量方式成為主流。

在智能手機用途的觸摸面板中，作為市場需求，要求“輕量化”、“薄型化”和“高性能化”。其中，為了實現“輕量化”和“薄型化”，采用在顯示器搭載觸摸傳感器功能的被稱為On-Cell和In-Cell的設備結構。

在被稱為On-Cell的觸摸面板的類型中，在彩色濾光片側的基板(也稱為CF基板)的背面，作為傳感器電極配置有ITO等透明導電膜。在CF基板的背面設置透明導電膜而成的結構體，一直以來作為透明導電性基板而公知，在智能手機用途的觸摸面板(觸摸功能內置型顯示器)以外的領域，例如在太陽能電池和各種顯示裝置等中也廣泛使用。這里，ITO是指銦·錫氧化物(Indium Tin Oxide)。

在智能手機用途中，在顯示器搭載有觸摸面板時，為了使彩色濾光片側的基板(CF基板)與TFT側的基板(也稱為TFT基板)貼合而使用粘接劑。因此，對觸摸傳感器形成時的溫度(成膜時和后加熱時等的溫度)產生制約(專利文獻1)。

當前，在作為觸摸面板的結構而受到關注的、被稱為GFF(蓋玻璃+單面ITO膜2張)和GF2(具有在基底膜的兩面覆膜ITO的DITO類型和在基底膜的單面重疊兩層ITO設置的ITO橋類型這兩種)的觸摸傳感器中，使用比玻璃的耐熱性更低的膜。例如，在GFF中，當前研究推進薄型化，在PET膜上設置ITO膜的結構。

在作為這種靜電容量方式的傳感器電極發揮功能的ITO膜的制造中，主要采用將ITO系材料用于靶的生產率高的通過型濺射方式。但是，在以往的ITO膜的制造中，成膜時200℃以上的高溫工藝是主流(非專利文獻1)，在PET膜等適宜的100℃以下的低溫工藝中得到良好的電特性極為困難。

在這樣的背景下，在通過型濺射方式的ITO膜的制造方法中，期待開發用低溫工藝制造低電阻的ITO膜的方法。

專利文獻1：日本特開2009-283149號公報

非專利文獻1：S.Ishibashi et al,J.Vac.Sci.Technol.A.,8,(3),1403(1990).

發明內容

本發明有鑒于這種以往的實情而發明，目的在于提供一種可用低溫工藝形成低電阻的帶透明導電膜的基板的、制造方法以及制造裝置。