[發(fā)明專利]壓力傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201780053481.4 | 申請日: | 2017-08-24 |
| 公開(公告)號: | CN109690272B | 公開(公告)日: | 2020-10-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 灘秀明;森田淳平 | 申請(專利權(quán))人: | 日寫株式會社 |
| 主分類號: | G01L5/00 | 分類號: | G01L5/00 |
| 代理公司: | 北京五洲洋和知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11387 | 代理人: | 劉春成;劉春燕 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 壓力傳感器 | ||
1.一種壓力傳感器,其特征在于,具備:
公共電極,所述公共電極在一個(gè)面上擴(kuò)展而形成;
多個(gè)獨(dú)立電極,所述多個(gè)獨(dú)立電極與所述公共電極對向地設(shè)置成矩陣狀;
多個(gè)薄膜晶體管,所述多個(gè)薄膜晶體管與所述多個(gè)獨(dú)立電極對應(yīng)地設(shè)置在所述多個(gè)獨(dú)立電極的與所述公共電極相反的一側(cè),一個(gè)或者相鄰的兩個(gè)以上的所述薄膜晶體管與一個(gè)獨(dú)立電極連接;以及
公共壓敏層,所述公共壓敏層被層疊于所述公共電極的所述多個(gè)獨(dú)立電極側(cè)的面,
所述多個(gè)獨(dú)立電極包括第一電極和第二電極,所述第二電極比所述第一電極厚因而與所述公共壓敏層的間隙比所述第一電極短。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器,其特征在于,
所述壓力傳感器具有按壓區(qū)域,
在所述按壓區(qū)域中,在任意的按壓部位所述第一電極和所述第二電極都是以包含在最低限按壓面積內(nèi)的方式排列。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓力傳感器,其特征在于,
還具備間隔件,所述間隔件形成于所述公共電極的所述多個(gè)獨(dú)立電極側(cè)的面,并且與所述多個(gè)獨(dú)立電極對向。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓力傳感器,其特征在于,
還具備間隔件,所述間隔件形成于所述多個(gè)獨(dú)立電極的所述公共電極側(cè)的面,并且與所述公共電極對向。
5.一種壓力傳感器,其特征在于,具備:
公共電極,所述公共電極在一個(gè)面上擴(kuò)展而形成;
多個(gè)獨(dú)立電極,所述多個(gè)獨(dú)立電極與所述公共電極對向地設(shè)置成矩陣狀;
多個(gè)薄膜晶體管,所述多個(gè)薄膜晶體管與所述多個(gè)獨(dú)立電極對應(yīng)地設(shè)置在所述多個(gè)獨(dú)立電極的與所述公共電極相反的一側(cè),一個(gè)或者相鄰的兩個(gè)以上的所述薄膜晶體管與一個(gè)獨(dú)立電極連接;
第一獨(dú)立壓敏層,所述第一獨(dú)立壓敏層被層疊于所述多個(gè)獨(dú)立電極中的第一電極的所述公共電極側(cè)的面;以及
第二獨(dú)立壓敏層,所述第二獨(dú)立壓敏層被層疊于所述多個(gè)獨(dú)立電極中的第二電極的所述公共電極側(cè)的面,
所述第二獨(dú)立壓敏層與所述公共電極之間的間隙比所述第一獨(dú)立壓敏層與所述公共電極的間隙短。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓力傳感器,其特征在于,
所述第二電極的厚度大于所述第一電極的厚度。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓力傳感器,其特征在于,
所述第二獨(dú)立壓敏層的厚度大于所述第一獨(dú)立壓敏層的厚度。
8.根據(jù)權(quán)利要求5至7中任一項(xiàng)所述的壓力傳感器,其特征在于,
所述壓力傳感器具有按壓區(qū)域,
在所述按壓區(qū)域中,在任意的按壓部位所述第一獨(dú)立壓敏層和所述第二獨(dú)立壓敏層都是以包含在最低限按壓面積內(nèi)的方式排列。
9.根據(jù)權(quán)利要求5至7中任一項(xiàng)所述的壓力傳感器,其特征在于,
還具備間隔件,所述間隔件形成于所述公共電極的所述多個(gè)獨(dú)立電極側(cè)的面,并且與所述多個(gè)獨(dú)立電極對向。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓力傳感器,其特征在于,
還具備間隔件,所述間隔件形成于所述公共電極的所述多個(gè)獨(dú)立電極側(cè)的面,并且與所述多個(gè)獨(dú)立電極對向。
11.根據(jù)權(quán)利要求5至7中任一項(xiàng)所述的壓力傳感器,其特征在于,
還具備間隔件,所述間隔件形成于所述第一獨(dú)立壓敏層和所述第二獨(dú)立壓敏層的所述公共電極側(cè)的面,并且與所述公共電極對向。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓力傳感器,其特征在于,
還具備間隔件,所述間隔件形成于所述第一獨(dú)立壓敏層和所述第二獨(dú)立壓敏層的所述公共電極側(cè)的面,并且與所述公共電極對向。
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