[發明專利]螺桿真空泵

有效

• 申請號: 201780052219.8
• 申請日: 2017-08-14
• 公開（公告）號: CN109642573B
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 托馬斯·德賴費特;德克·席勒;沃爾夫岡·吉伯曼;羅蘭德·穆勒
• 申請（專利權）人: 萊寶有限公司
• 主分類號: F04C18/08
• 分類號: F04C18/08;F04C18/16;F04C25/02
• 代理公司: 北京鴻德海業知識產權代理事務所(普通合伙) 11412
• 代理人: 王再芊

1.一種螺桿真空泵，其包括：

限定泵送室的殼體，其中所述殼體由鋁或鋁合金制成，

布置在所述泵送室中的兩個螺桿轉子，每個螺桿轉子包括至少兩個位移元件，所述至少兩個位移元件具有用于限定多個螺圈的螺旋形凹口，其中所述至少兩個位移元件由鋁或鋁合金制成，

其特征在于，

在其中具有5％至20％的出口壓力的區域與所述螺桿轉子的壓力側端之間，提供至少六個螺圈，

所述至少兩個位移元件包括壓力側位移元件和吸入側位移元件，其中，所述壓力側位移元件具有對稱的輪廓，所述吸入側位移元件具有不對稱的輪廓；

每個位移元件包括至少一個螺旋形凹口，該螺旋形凹口沿著其整個長度具有相同的輪廓，

其中所述壓力側位移元件引起小于20的壓力比。

2.根據權利要求1所述的螺桿真空泵，其特征在于，所述壓力側位移元件引起小于10的壓力比。

3.根據權利要求1或2所述的螺桿真空泵，其特征在于，所述壓力側位移元件至少在6個螺圈中具有多于50mbar的平均工作壓力。

4.根據權利要求1所述的螺桿真空泵，其特征在于，在所述壓力側位移元件的表面與所述泵送室的內表面之間形成間隙，所述間隙具有在從0.05mm至0.3mm的范圍內的高度。

5.根據權利要求1所述的螺桿真空泵，其特征在于，所述壓力側位移元件在其整個長度上具有恒定的螺距。

6.根據權利要求1所述的螺桿真空泵，其特征在于，所述壓力側位移元件是單螺紋的。

7.根據權利要求1所述的螺桿真空泵，其特征在于，每個螺桿轉子包括支撐所述至少兩個位移元件的轉子軸。

8.根據權利要求1所述的螺桿真空泵，其特征在于，螺桿轉子的位移元件是一體形成的。

9.根據權利要求1所述的螺桿真空泵，其特征在于，由鋁或鋁合金制成的螺桿轉子具有小于22*10^-61/K的膨脹系數。

10.根據權利要求1所述的螺桿真空泵，其特征在于，所述螺桿轉子以及每個螺桿轉子的所述至少兩個位移元件，具有比所述殼體低的膨脹系數。

11.根據權利要求1所述的螺桿真空泵，其特征在于，所述螺桿轉子并不具有轉子內部冷卻。

12.根據權利要求1所述的螺桿真空泵，其特征在于，所述螺桿轉子并不包括具有冷卻劑的通道，所述冷卻劑流動通過所述通道。

13.根據權利要求1所述的螺桿真空泵，其特征在于，所述螺桿轉子是實心的。

14.根據權利要求1所述的螺桿真空泵，其特征在于，在正常操作中，在所述壓力側位移元件的區域中，這些位移元件與所述殼體之間的溫度差小于50K。

15.根據權利要求1所述的螺桿真空泵，其特征在于，在所述壓力側位移元件的區域中，平均熱流密度小于20000W/m²。

16.根據權利要求1所述的螺桿真空泵，其特征在于，其中具有5％至20％的出口壓力的區域直到所述壓力側位移元件的最后的螺圈之間的距離至少在螺桿轉子長度的從20％至30％的范圍內。

17.根據權利要求1所述的螺桿真空泵，其特征在于，在其中具有5％至20％的出口壓力的區域與所述螺桿轉子的壓力側端之間，提供至少八個螺圈。