[發明專利]半導體裝置

有效

• 申請號: 201780051570.5
• 申請日: 2017-08-23
• 公開（公告）號: CN109643961B
• 公開（公告）日: 2020-08-28
• 發明（設計）人: 合田健太;O·保羅
• 申請（專利權）人: 株式會社電裝;阿爾布萊希特-路德維希-弗萊堡大學
• 主分類號: H02N1/06
• 分類號: H02N1/06;B81B3/00;H01G7/06
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 高迪

1.一種半導體裝置，具備：

固定電極；

可動電極，與上述固定電極的主面對置，沿著上述主面能夠相對于上述固定電極相對地移動；以及

一對的彈性支承體，將上述可動電極以能夠在伸縮方向上移動的方式從上述伸縮方向的兩側支承；

上述固定電極和上述可動電極中的某一方為駐極體電極，

上述固定電極以及上述可動電極通過在上述伸縮方向上周期性地形成多個電極部而構成；

構成上述固定電極以及上述可動電極的電極部的形成周期，比從上述可動電極靜止的狀態到上述一對的彈性支承體中的一個彈性支承體被壓縮最大的狀態為止的上述可動電極的移動距離的2倍小；

在上述可動電極靜止的狀態中，將上述主面主視時，上述可動電極配置在上述固定電極與上述可動電極不重疊的位置；

在上述可動電極振動的狀態中，出現上述固定電極與上述可動電極重疊的狀態。

2.如權利要求1所述的半導體裝置，

上述可動電極的電極部相對于上述固定電極的電極部在上述伸縮方向上偏離半周期而配置。

3.如權利要求1所述的半導體裝置，

上述可動電極和上述彈性支承體一體地形成，且由相同的導電性材料構成。

4.如權利要求3所述的半導體裝置，

具備框體，該框體以支承上述彈性支承體的方式連接上述彈性支承體；

上述框體被溝槽電分離為連接上述彈性支承體的第1框部、和上述第1框部以外的第2框部。

5.如權利要求1～4中任一項所述的半導體裝置，

上述固定電極通過將多個電極部在與上述伸縮方向正交的方向上以條紋狀延伸設置而構成；

上述可動電極通過將多個電極部在與上述伸縮方向正交的方向上以條紋狀延伸設置而構成。