[發(fā)明專利]氯硅烷聚合物的穩(wěn)定化方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201780051456.2 | 申請(qǐng)日： | 2017-10-03 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN109641754A | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-04-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 田中康智;大塚悠太;久保田涉;石崎雅人;赤崎梢 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 株式會(huì)社IHI |
| 主分類號(hào)： | C01B33/107 | 分類號(hào)： | C01B33/107;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243 | 代理人： | 陳彥;張默 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 氯硅烷 聚合物 聚合物穩(wěn)定化 化學(xué)氣相沉積 氯硅烷系 氯化氫 穩(wěn)定化 鹽水解 稀釋 醇鹽 分解 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
1.一種使利用氯硅烷系氣體的化學(xué)氣相沉積法的工序中副生成的氯硅烷聚合物穩(wěn)定化的方法，包括使氯硅烷聚合物與醇接觸而分解為醇鹽、氯化氫和氫并且在醇中稀釋的工序，以及使所述醇鹽水解的工序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，所述化學(xué)氣相沉積法的工序中，使碳化硅、硅和硅化合物中的至少一種沉積。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，所述氯硅烷系氣體含有甲基三氯硅烷和三氯硅烷中的至少一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，所述醇含有丁醇以下的低級(jí)醇。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，所述醇鹽含有四乙氧基硅烷。
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