[發(fā)明專(zhuān)利]改性成型品的制造方法、成型品、隔膜和隔膜閥

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780051212.4
• 申請(qǐng)日: 2017-08-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109642038B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 今村均;舩岡達(dá)也;下野武司
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 大金工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): C08J7/00
• 分類(lèi)號(hào): C08J7/00;F16K7/12
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 孟偉青;龐東成

本發(fā)明提供一種用于制造改性成型品的制造方法，該改性成型品能夠?qū)崿F(xiàn)不容易產(chǎn)生粉粒的隔膜。一種改性成型品的制造方法，其特征在于，其包括下述工序：將改性聚四氟乙烯成型來(lái)得到成型品的工序，該改性聚四氟乙烯包含四氟乙烯單元和基于能夠與四氟乙烯共聚的改性單體的改性單體單元；以及在270℃～310℃對(duì)上述成型品照射30kGy以上且小于70kGy的放射線來(lái)得到改性成型品的工序。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及改性成型品的制造方法、成型品、隔膜和隔膜閥。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造工廠中，在半導(dǎo)體制造中使用的腐蝕性高的化學(xué)藥品等的供給中使用了隔膜閥。聚四氟乙烯(PTFE)和四氟乙烯/全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)由于具有優(yōu)異的耐化學(xué)藥品性、非粘合性等而被用作隔膜閥的構(gòu)成材料。但其出現(xiàn)了從隔膜閥產(chǎn)生粉粒、使半導(dǎo)體制造的成品率降低等問(wèn)題。

在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中，現(xiàn)有的隔膜閥中的閥箱為PTFE制，但由于該閥箱通過(guò)切削加工而制成，因而會(huì)附著有毛刺等異物，據(jù)認(rèn)為無(wú)法避免粉粒的產(chǎn)生。并且認(rèn)為，通過(guò)至少使閥箱由PFA成型品構(gòu)成，不會(huì)因切削加工而附著毛刺等異物，可避免粉粒的產(chǎn)生。

在專(zhuān)利文獻(xiàn)2中，在隔膜的硬度與閥座的硬度不同的情況下，在將隔膜壓抵至閥座時(shí)，據(jù)認(rèn)為硬度低的部件容易被刮掉。并且認(rèn)為，通過(guò)使隔膜的硬度與閥座的硬度大致相等，能夠抑制隔膜閥內(nèi)的粉粒的產(chǎn)生。另外，作為其一例，記載了使隔膜的材質(zhì)為改性PTFE、使閥座的材質(zhì)為PFA的情況。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)平11-37329號(hào)公報(bào)

專(zhuān)利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2012-26476號(hào)公報(bào)

專(zhuān)利文獻(xiàn)3：日本特開(kāi)平01-33810號(hào)公報(bào)

專(zhuān)利文獻(xiàn)4：日本特開(kāi)平10-316761號(hào)公報(bào)

專(zhuān)利文獻(xiàn)5：日本特開(kāi)2000-159914號(hào)公報(bào)

專(zhuān)利文獻(xiàn)6：日本特開(kāi)2013-27875號(hào)公報(bào)

專(zhuān)利文獻(xiàn)7：日本特開(kāi)2014-44401號(hào)公報(bào)

專(zhuān)利文獻(xiàn)8：日本特開(kāi)平09-278907號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的課題

但是，隨著半導(dǎo)體電路的微細(xì)化，要求進(jìn)一步降低粉粒的技術(shù)。

鑒于上述現(xiàn)狀，本發(fā)明的目的在于提供一種用于制造改性成型品的制造方法，該改性成型品能夠?qū)崿F(xiàn)不容易產(chǎn)生粉粒的隔膜。

本發(fā)明的目的還在于提供不容易產(chǎn)生粉粒的成型品、隔膜和隔膜閥。

用于解決課題的手段

本發(fā)明人對(duì)用于解決上述課題的手段進(jìn)行了深入研究，結(jié)果查明，在使隔膜的材質(zhì)為改性聚四氟乙烯(改性PTFE)、使閥座的材質(zhì)為四氟乙烯/全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)的情況下，盡管兩者具有同等的硬度，但隔膜的磨耗仍大于閥座，產(chǎn)生了粉粒。發(fā)明人進(jìn)一步進(jìn)行了研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，在特定條件下對(duì)改性PTFE進(jìn)行放射線處理而得到的改性成型品即使在與PFA成型品反復(fù)抵接和分開(kāi)的情況下，也不容易產(chǎn)生粉粒，從而完成了本發(fā)明。

另外，如專(zhuān)利文獻(xiàn)3～8所述，對(duì)PTFE和PFA照射放射線而對(duì)它們進(jìn)行改性的技術(shù)是廣為人知的。但是，發(fā)明人同時(shí)還發(fā)現(xiàn)，為了得到不容易產(chǎn)生粉粒的改性PTFE的改性成型品，需要在與以往不同的條件下照射放射線。