[發明專利]廢氣處理裝置用的燃燒頭及其制造方法、以及廢氣處理裝置用的燃燒室及其制造方法和維護方法

有效

• 申請號: 201780050830.7
• 申請日: 2017-08-18
• 公開（公告）號: CN109642725B
• 公開（公告）日: 2021-04-23
• 發明（設計）人: 宮崎一知;駒井哲夫;柏木誠司;細谷和正;江田健
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: F23G7/06
• 分類號: F23G7/06
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉;閆劍平

本發明提供一種用于實現容易維護的廢氣處理裝置的燃燒頭及其制造方法、以及具有這種燃燒頭的廢氣處理裝置用的燃燒室及其制造方法及維護方法。本發明提供一種燃燒頭，其通過安裝于燃燒室主體的上部而構成廢氣處理裝置用的燃燒室，該燃燒頭具有：殼體，其具有下方開口的圓筒部，并設有用于以能夠拆下的方式緊固于所述燃燒室主體的緊固部；燃料用噴嘴，其用于向所述圓筒部內吹入燃料；助燃性氣體用噴嘴，其用于向所述圓筒部內吹入助燃性氣體；處理氣體用噴嘴，其用于向所述圓筒部內吹入處理氣體；和引燃器，用于點燃所述燃料和/或所述助燃性氣體。

技術領域

本公開涉及廢氣處理裝置用的燃燒頭(burner head)及其制造方法。另外，本公開涉及廢氣處理裝置用的燃燒室及其制造方法和維護方法。

背景技術

從半導體制造裝置會排出含有硅烷氣體(SiH₄)或者鹵素類的氣體(NF₃、ClF₃、SF₆、CHF₃、C₂F₆、CF₄)等有害可燃氣體的氣體，像這樣的廢氣(處理氣體)是不能直接釋放到大氣中的。因此，通常將這些廢氣導入除害裝置來進行基于燃燒的氧化無害化處理。作為這種處理方法，廣泛采用通過使用燃料氣體在爐內形成火焰來進行廢氣處理的燃燒式的廢氣處理裝置。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利第4937886號公報

發明內容

由于像這樣的廢氣處理裝置會產生粉塵，所以需要定期的維護。

本公開是鑒于這種問題點而提出的，其課題在于，提供用于實現容易維護的廢氣處理裝置的燃燒頭及其制造方法、以及具有像這樣的燃燒頭的廢氣處理裝置用的燃燒室及其制造方法和維護方法。

根據本公開，提供一種燃燒頭，其通過安裝于燃燒室主體的上部而構成廢氣處理裝置用的燃燒室，該燃燒頭具有：殼體，其具有下方開口的圓筒部，并設有用于以能夠拆下的方式緊固于所述燃燒室主體的緊固部；燃料用噴嘴，其用于向所述圓筒部內吹入燃料；助燃性氣體用噴嘴，其用于向所述圓筒部內吹入助燃性氣體；處理氣體用噴嘴，其用于向所述圓筒部內吹入處理氣體；和引燃器，其用于點燃所述燃料和/或所述助燃性氣體。

所述燃料用噴嘴、所述助燃性氣體用噴嘴及所述處理氣體用噴嘴優選位于與所述圓筒部的軸線正交的同一平面上。此處，位于同一平面上是指，3個噴嘴的燃燒室內周面側的開口的一部分位于同一平面上。

優選地，在所述圓筒部的側面設有供所述燃料用噴嘴連接的第一開口、供所述助燃性氣體用噴嘴連接的第二開口和供所述處理氣體用噴嘴連接的第三開口，所述第一開口、所述第二開口及所述第三開口的至少一個部分位于與所述圓筒部的軸線正交的同一平面上。

優選地，在所述圓筒部的側面，設有供所述處理氣體用噴嘴連接的第三開口，所述第三開口的形狀呈沿所述圓筒部的長度方向延伸的狹縫狀。

所述引燃器優選能夠從所述圓筒部拆下。

優選地，在所述圓筒部設有向上方開口且能夠插入加熱器的孔。

所述緊固部優選焊接在所述殼體。

所述燃料用噴嘴、所述助燃性氣體用噴嘴及所述處理氣體用噴嘴焊接在所述圓筒部。

所述圓筒部優選由厚壁管構成。

優選地，所述殼體具有所述圓筒部和嵌于所述圓筒部的圓環部，所述緊固部從所述圓環部的側面向外側突出。

燃燒頭優選具有用于向所述圓筒部內吹入吹掃氣體的吹掃氣體用噴嘴。