[發(fā)明專利]鎢阻擋層拋光料漿組合物

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780048960.7
• 申請日: 2017-06-16
• 公開（公告）號: CN109563375B
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樸韓泰;孔鉉九;李相美
• 申請（專利權(quán)）人: 凱斯科技股份有限公司
• 主分類號: C11D7/34
• 分類號: C11D7/34;C09G1/02
• 代理公司: 北京尚倫律師事務(wù)所 11477
• 代理人: 張俊國

1.一種鎢阻擋層拋光料漿組合物，包括：

拋光粒子；

含有硫磺的氨基酸；和

防腐劑，

其中，所述含有硫磺的氨基酸，包括從半胱氨酸、蛋氨酸、胱氨酸、硫代半胱氨酸、牛磺酸、牛磺膽酸、N-酰基甲基牛磺酸、黎豆氨酸、胱硫醚、S-烯丙半胱氨酸、羊毛硫氨酸、乙硫氨酸、S-腺苷甲硫胺酸、谷胱甘肽、N-乙酰半胱氨酸形成的群組中選擇的至少一個(gè)，

其中防腐劑包括從甘氨酸、精氨酸、丙氨酸、谷氨酸、天冬氨酸、天冬酰胺、組氨酸形成的群組中選擇的至少一個(gè)，

其中所述料漿組合物用于拋光鎢阻擋層和改善邊緣腐蝕(EOE)的應(yīng)用，

所述拋光粒子的大小是40nm至100nm的單一尺寸粒子或是2種以上的混合粒子，

所述含有硫磺的氨基酸，在所述鎢阻擋層拋光料漿組合物中為0.001wt％-1wt％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鎢阻擋層拋光料漿組合物，其中，所述拋光粒子，包括從有機(jī)物或無機(jī)物涂層的金屬氧化物，和膠狀的所述金屬氧化物形成的群組中選擇的至少任何一個(gè)，且

所述金屬氧化物，包括從二氧化硅、氧化鈰、氧化鋯、氧化鋁、氧化鈦、鈦酸鋇、氧化鍺、氧化錳及氧化鎂形成的群組中選擇的至少任何一個(gè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鎢阻擋層拋光料漿組合物，其中，所述拋光粒子，在所述鎢阻擋層拋光料漿組合物中為1wt％-10wt％。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鎢阻擋層拋光料漿組合物，其中，利用所述鎢阻擋層拋光料漿組合物將鎢阻擋層拋光后，在10μm/s-30μm/s的速度范圍，10Hz-30Hz的速率范圍以及1mg-5mg的動(dòng)力范圍條件下測定的鎢金屬膜和絕緣膜的線寬為10μm，且圖案密度為30％的鎢阻擋層的邊緣過度侵蝕EOE值為以下。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鎢阻擋層拋光料漿組合物，進(jìn)一步包括：從pH緩沖劑、及氧化劑形成的群組中選擇的至少任何一個(gè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鎢阻擋層拋光料漿組合物，其中，所述防腐劑，在所述鎢阻擋層拋光料漿組合物中為0.001wt％-1wt％。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鎢阻擋層拋光料漿組合物，其中，所述pH緩沖劑包括從磷酸銨，磷酸氫銨，磷酸二氫銨，氫氧化銨，乙酸銨，硼酸銨，草酸銨，檸檬酸二銨，檸檬酸三銨，氨基甲酸銨，二鹽基檸檬酸銨，和三鹽基檸檬酸銨形成的群組中選擇的至少任何一個(gè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鎢阻擋層拋光料漿組合物，其中，所述pH緩沖劑，在所述鎢阻擋層拋光料漿組合物中為0.005wt％-0.2wt％。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鎢阻擋層拋光料漿組合物，其中，所述氧化劑，包括從過氧化氫，脲過氧化氫，尿素，過碳酸鹽，高碘酸，高碘酸鹽，高氯酸，高氯酸鹽，過溴酸，過溴酸鹽，過硼酸，過硼酸鹽，高錳酸，高錳酸鹽，過硫酸鹽，溴酸鹽，氯酸鹽，亞氯酸鹽，鉻酸鹽，碘酸鹽，碘酸，過氧化硫酸銨，過氧化苯甲酰，過氧化鈣，過氧化鋇，過氧化鈉，和過氧化氫元素形成的群組中選擇的至少任何一個(gè)。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鎢阻擋層拋光料漿組合物，其中，所述氧化劑，在所述鎢阻擋層拋光料漿組合物中為0.01wt％-5wt％。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鎢阻擋層拋光料漿組合物，其中，所述鎢阻擋層拋光料漿組合物的pH范圍為1-5。