[發明專利]基板處理裝置

有效

• 申請號: 201780048591.1
• 申請日: 2017-08-07
• 公開（公告）號: CN109562902B
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發明（設計）人: 鬼頭義昭;加藤正紀;奈良圭;堀正和;木內徹
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: B65H26/00
• 分類號: B65H26/00;B65G49/06;B65H23/188;G03F7/20;G03F7/24;H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 孫乳筍;王濤

一種將長條的片狀基板于長條方向上搬送并對片狀基板實施既定的處理的基板處理裝置，且設置有：處理機構，其對片狀基板的長條方向的每一部分實施既定的處理；搬送機構，其一面對通過處理機構的片狀基板賦予既定的張力，一面將片狀基板按照既定速度于長條方向上搬送；卡留機構，其配置于片狀基板的搬送路徑中的既定位置，且能夠將片狀基板卡留于既定位置；以及控制裝置，其于暫時停止片狀基板的搬送的情形時，以使片狀基板的搬送速度降低的方式控制搬送機構，并且以于搬送速度成為既定值以下的時點將片狀基板卡留于既定位置的方式控制卡留機構。

技術領域

本發明關于一種一面將軟性的長條的片狀基板于長條方向上搬送，一面對片狀基板實施既定的處理的基板處理裝置及基板處理方法。

背景技術

于日本專利特開2009-146746號公報中，揭示有如下的卷對卷方式的制造系統，即，為了于帶狀的可撓性基材(可撓性的長條的塑膠膜)上形成電子裝置(有機EL顯示面板)，將卷成卷筒狀的可撓性基材拉出并沿長條方向搬送，并且利用沿長條方向排列的執行多個形成步驟的各者之處理裝置對可撓性基材依次進行處理，然后卷取成卷筒狀。進一步，于日本專利特開2009-146746號公報中，揭示設置有用于各形成步驟(處理裝置)之間的可撓性基材的速度調整的累積器，而連續生產有機EL顯示面板。于此種卷對卷方式的生產線的情形時，為了將呈帶狀相連的長條的1片可撓性基材(軟性的長條的片狀基板)于長條方向上連續搬送，構成生產線的多個處理裝置的各者理想為跨及連續搬送的可撓性基材的全長(卷筒長度)而持續正常地運轉。

然而，根據處理裝置，亦存在為了該裝置的性能維持、或制造的電子裝置的品質維持等，宜中斷片狀基板的處理動作，并進行處理裝置的調整作業(消耗品的補充動作或更新動作、清潔動作、校準動作等)的情形。又，于暫時性地中斷處理的處理裝置為圖案化裝置(印刷機、噴墨印表機、曝光裝置、轉印裝置、壓印裝置等)的情形時，若為了調整作業而停止片狀基板的搬送并將片狀基板自搬送輥等卸除或松開，則存在于處理重新開始后形成于片狀基板上的圖案區域的位置相對于調整作業前已經形成的圖案區域的位置較大地偏移的情況。

發明內容

本發明的第1態樣為一種基板處理裝置，將長條的片狀基板于長條方向上搬送，并對上述片狀基板實施既定的處理者，其具備：處理機構，對上述片狀基板的長條方向的每一部分實施上述既定的處理；搬送機構，一面對通過上述處理機構的上述片狀基板賦予既定的張力，一面將上述片狀基板按照既定速度于上述長條方向上搬送；卡留機構，配置于上述片狀基板的搬送路徑中的既定位置，且能夠將上述片狀基板卡留于上述既定位置；以及控制裝置，于使上述片狀基板的搬送暫時停止的情形時，以使上述片狀基板的搬送速度降低的方式控制上述搬送機構，并且以于上述搬送速度為既定值以下的時點將上述片狀基板卡留于上述既定位置的方式控制上述卡留機構。

本發明的第2態樣為一種基板處理裝置，其將長條的片狀基板于長條方向上搬送，并對上述片狀基板實施既定的處理者，其具備：處理機構，其對上述片狀基板的長條方向的每一部分實施上述既定的處理；搬送機構，其以上述片狀基板按照被控制的速度通過上述處理機構的方式，一面對上述片狀基板的搬送量進行計測，一面將上述片狀基板于上述長條方向上搬送；張力賦予機構，其對通過上述搬送機構搬送的上述片狀基板賦予既定的張力；既定位置存儲部，其基于上述搬送機構中所計測的上述搬送量而存儲上述處理機構的上述既定的處理被暫時性地中斷的上述片狀基板上的既定位置、或上述既定的處理重新開始的既定位置；以及控制裝置，其以如下方式控制上述搬送機構，即，于暫時性地中斷上述既定的處理的情形時，將上述既定位置存儲至上述既定位置存儲部之后，利用抑制上述搬送機構中的上述片狀基板的滑動的產生的特性使上述片狀基板的搬送速度降低。