[發明專利]導通檢測裝置用部件和導通檢測裝置在審
| 申請號: | 201780048266.5 | 申請日: | 2017-08-08 |
| 公開(公告)號: | CN109564240A | 公開(公告)日: | 2019-04-02 |
| 發明(設計)人: | 笹平昌男;王曉舸 | 申請(專利權)人: | 積水化學工業株式會社 |
| 主分類號: | G01R1/06 | 分類號: | G01R1/06;G01R1/073;G01R31/02;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人: | 張濤 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 導通檢測裝置 導電部 通孔 導電性粒子 基材粒子 導電層 部件接觸 導通檢測 導通性能 檢測對象 收納 突起 劣化 配置 裂縫 | ||
1.一種導通檢測裝置用部件,其具備:基體、通孔和導電部,其中,
多個所述通孔配置于所述基體,
所述導電部收納于所述通孔內,
所述導電部含有導電性粒子,
所述導電性粒子包括基材粒子以及配置于所述基材粒子表面上的導電層,
所述導電層在其外表面上具有多個突起。
2.根據權利要求1所述的導通檢測裝置用部件,其中,
所述導電部所含的導電性粒子還包括所述導電層的外表面上不具有多個突起的導電性粒子。
3.根據權利要求1或2所述的導通檢測裝置用部件,其中,
所述導電層含有選自銅、鎳、鈀、釕、銠、銀、金、鉑、銥、鈷、鐵、鎢、鉬、錫、鍺、銦、碲、鉈、鉍、砷、硒、磷、硼、石墨、氧化鋁、氧化鈦、碳化鎢和碳化硅中的至少一種。
4.一種導電性粒子,其用于權利要求1~3中任一項所述的導通檢測裝置用部件。
5.一種導通檢測裝置,其具備權利要求1~3中任一項所述的導通檢測裝置用部件。
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