[發(fā)明專利]壓印材料

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780048171.3
• 申請日: 2017-08-07
• 公開（公告）號: CN109563194B
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 小林淳平;DA·櫻葉汀;長澤偉大;首藤圭介;加藤拓;鈴木正睦
• 申請（專利權(quán)）人: 日產(chǎn)化學(xué)株式會社
• 主分類號: C08F2/48
• 分類號: C08F2/48;C08F220/28;B29C59/02;H01L21/027
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所 11247
• 代理人: 李照明;段承恩

本發(fā)明提供一種新的壓印材料，含有下述(A)成分、(B)成分和(C)成分，(A)：下述式(1)所示的化合物(式中，2個R分別獨立地表示氫原子或甲基)，(B)：具有碳原子數(shù)為6～10的直鏈亞烷基和/或選自環(huán)戊烷結(jié)構(gòu)、環(huán)己烷結(jié)構(gòu)、降冰片烷結(jié)構(gòu)、異冰片結(jié)構(gòu)和金剛烷結(jié)構(gòu)中的脂環(huán)結(jié)構(gòu)、以及至少1個聚合性基的化合物，(C)：光聚合引發(fā)劑。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及壓印材料(壓印用膜形成組合物)和由該材料制作的、被轉(zhuǎn)印了圖案的膜。更具體地說，涉及由該材料制作、即使是厚膜的狀態(tài)也保持高透明性、具有高折射率并且高阿貝數(shù)的被轉(zhuǎn)印了圖案的膜。本說明書中“厚膜”表示厚度為0.01mm～1.5mm的膜。

背景技術(shù)

1995年、現(xiàn)普林斯頓大學(xué)的チョウ教授提出了納米壓印的新技術(shù)(專利文獻(xiàn)1)。納米壓印，是使具有任意圖案的模具與形成有樹脂膜的基材接觸，對該樹脂膜加壓，同時作為外部刺激使用熱或光，形成目標(biāo)圖案被固化的該樹脂膜的技術(shù)。該納米壓印，以以往的半導(dǎo)體器件制造中的光刻等相比，具有能夠方便且便宜地進(jìn)行納米級別加工的優(yōu)點。

因此，期待納米壓印能夠取代光刻技術(shù)用于半導(dǎo)體器件、光學(xué)器件、顯示器、存儲介質(zhì)、生物芯片等的制造中，所以關(guān)于納米壓印中使用的光納米壓印用固化性組合物有各種報導(dǎo)(專利文獻(xiàn)2、專利文獻(xiàn)3)。

此外，光納米壓印中，作為以高效率大量生產(chǎn)被轉(zhuǎn)印了圖案的膜的方法，提出了輥對輥方式。過去在光納米壓印提出的輥對輥方式中，使用柔性膜作為基材，作為納米壓印中使用的材料(下文中，本說明書中簡稱為「壓印材料」。)，為了不使圖案尺寸容易變化，使用不添加溶劑的無溶劑型材料的方法成為主流。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1:美國專利第5772905號說明書

專利文獻(xiàn)2:日本特開2008-105414號公報

專利文獻(xiàn)3:日本特開2008-202022號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

如前所述，在過去提出的壓印材料中使用無溶劑型材料，但對于在以厚膜進(jìn)行光壓印后、在可見光區(qū)域中具有高透明性，具有高折射率并且高阿貝數(shù)的材料尚沒有具體的研究和報告。

本發(fā)明鑒于前述的現(xiàn)狀而完成，其要解決的課題是，提供在以厚膜進(jìn)行的光壓印后、在可見光區(qū)域中具有高透明性，具有高折射率并且高阿貝數(shù)的壓印材料。

解決課題的手段

本發(fā)明人為了解決上述課題進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過使用含有以下成分的材料作為壓印材料，獲得以下認(rèn)識，從而完成本發(fā)明成。即、本發(fā)明的壓印材料、即使是在以厚膜進(jìn)行的光壓印后，也在可見光區(qū)域中具有高透明性，具有高折射率并且高阿貝數(shù)。所述成分是：具有1,3-二氧雜環(huán)己烷并且兩末端有聚合性基的化合物、具有碳原子數(shù)6～10的直鏈亞烷基和/或選自環(huán)戊烷結(jié)構(gòu)、環(huán)己烷結(jié)構(gòu)、降冰片烷結(jié)構(gòu)、異冰片結(jié)構(gòu)和金剛烷結(jié)構(gòu)中的脂環(huán)結(jié)構(gòu)以及至少1個聚合性基的化合物、和光聚合引發(fā)劑。

即本發(fā)明，作為觀點1是一種壓印材料，含有下述(A)成分、(B)成分和(C)成分，

(A)：下述式(1)所示的化合物，

式中，2個R分別獨立地表示氫原子或甲基，

(B)：具有碳原子數(shù)為6～10的直鏈亞烷基和/或選自環(huán)戊烷結(jié)構(gòu)、環(huán)己烷結(jié)構(gòu)、降冰片烷結(jié)構(gòu)、異冰片結(jié)構(gòu)和金剛烷結(jié)構(gòu)中的脂環(huán)結(jié)構(gòu)、以及至少1個聚合性基的化合物，

(C)：光聚合引發(fā)劑。

作為觀點2，是如觀點1所述的壓印材料，所述聚合性基是丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基、乙烯基或烯丙基。