[發明專利]固態攝像元件、固態攝像元件用光瞳校正方法、攝像裝置和信息處理裝置

有效

• 申請號: 201780047478.1
• 申請日: 2017-08-01
• 公開（公告）號: CN109564928B
• 公開（公告）日: 2022-12-16
• 發明（設計）人: 橫川創造
• 申請（專利權）人: 索尼公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146;G02B5/20;H04N5/374;H04N9/07
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 曹正建;陳桂香

1.一種固態攝像元件，其包括：

光接收元件，其被包括在多個像素中；

結構彩色濾光器，其位于所述光接收元件的至少一部分的上方，并均包括設置有周期性開口圖案的金屬膜，所述周期性開口圖案的結構周期小于指定波長；

波長選擇濾光器，所述波長選擇濾光器直接層疊在平坦化膜上，其中所述平坦化膜在所述結構彩色濾光器和所述波長選擇濾光器之間；和

接線層，其位于所述光接收元件的下方，并被構造為用于獲取由所述光接收元件檢測的光的信號，

其中，根據入射光的主光線角度，所述結構周期在所述結構彩色濾光器之間是不同的，并且相對于在0°的所述主光線角度處的所述周期性開口圖案的所述結構周期，所述周期性開口圖案的所述結構周期隨著所述主光線角度變大而變小。

2.根據權利要求1所述的固態攝像元件，其中，

所述結構彩色濾光器是利用在金屬表面和介電質之間的界面處生成的表面等離極化激元的結構濾光器。

3.根據權利要求2所述的固態攝像元件，其中，

所述結構彩色濾光器中的所述周期性開口圖案包括多個開口部分，每個所述開口部分具有圓形或矩形的開口形狀，并且

各個所述開口部分設置在基本三角形形狀的頂點位置，所述三角形形狀假想地以平面的方式填充所述結構彩色濾光器的孔口面。

4.根據權利要求2所述的固態攝像元件，其中，

所述結構彩色濾光器中的所述周期性開口圖案包括多個開口部分，每個所述開口部分具有圓形或矩形的開口形狀，并且

各個所述開口部分設置在正方形或矩形的頂點位置，所述正方形或所述矩形假想地以平面的方式填充所述結構彩色濾光器的孔口面。

5.根據權利要求1-4中任一項所述的固態攝像元件，其中，

所述金屬膜包含鋁、銅、銀、金、鈦、鎢或這些元素的合金作為主要成分。

6.根據權利要求1-4中任一項所述的固態攝像元件，其中，

所述結構彩色濾光器中的所述周期性開口圖案中包括的多個開口部分中的每個開口部分的尺寸在50nm到500nm的范圍內，并且

相互鄰近的所述開口部分之間的間隔在100nm到1000nm的范圍內。

7.根據權利要求1-4中任一項所述的固態攝像元件，其中，

所述結構彩色濾光器中的所述金屬膜的厚度是使所述金屬膜在入射在所述結構彩色濾光器上的光的波長處光學地不透明的厚度。

8.根據權利要求7所述的固態攝像元件，其中，

所述結構彩色濾光器中的所述金屬膜的厚度在50nm到300nm的范圍內。

9.根據權利要求1-4中任一項所述的固態攝像元件，其中，

所述結構彩色濾光器電接地。

10.根據權利要求1-4中任一項所述的固態攝像元件，其中，

第一集光透鏡結構位于所述結構彩色濾光器的在所述光接收元件一側處的表面和所述光接收元件之間，并且

所述第一集光透鏡結構的折射率具有比所述第一集光透鏡結構的設置位置周圍的位置處的折射率大的值。

11.根據權利要求10的固態攝像元件，其中，

所述結構彩色濾光器的孔口面的表面形狀彎曲成與所述第一集光透鏡結構的表面形狀基本相同。

12.根據權利要求1-4中任一項所述的固態攝像元件，其中，

第二集光透鏡結構位于所述結構彩色濾光器的在與所述光接收元件相對的一側處的表面的上方。