[發明專利]激光光源及使用激光光源的激光加工裝置

有效

• 申請號: 201780046356.0
• 申請日: 2017-08-10
• 公開（公告）號: CN109641316B
• 公開（公告）日: 2021-03-30
• 發明（設計）人: 原章文
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業株式會社
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;B23K26/0622;B23K26/082;H01S3/00;H01S3/097
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫

激光光源(12)用于激光加工裝置(10)，響應于觸發信號(S₁)進行振蕩，而產生激光脈沖(6)。激光脈沖通過光學系統而照射于對象物?？刂蒲b置(16)對激光光源(12)輸出觸發信號(S₁)。驅動電路(60)響應于觸發信號(S₁)而使高頻電源(50)動作，并且若直流電壓(V_DC)脫離容許范圍，則激活照射禁止信號(S₃)。激光加工裝置(10)構成為，在照射禁止信號(S₃)被激活時不向對象物照射激光脈沖。

技術領域

本發明涉及一種激光加工裝置用的激光驅動裝置。

背景技術

作為工業用的加工工具，已廣泛普及激光加工裝置。激光加工裝置的加工精度取決于激光光源產生的激光脈沖的特性、例如能源、強度、時間波形等。因此，為了實現高精度的加工，需要從激光光源產生偏差較小的激光脈沖。

在專利文獻1中公開有一種技術：通過光檢測器來測定取決于激光脈沖的能源的物理量，并在測定的物理量脫離容許值的情況下，以激光脈沖不向對象物照射的方式，向其他路徑放出。

以往技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2015-186818號公報

發明內容

發明要解決的技術課題

現有技術中，即使激光脈沖的能源脫離容許值的情況下，也產生激光，會消耗不必要的能源。并且，由于需要收集(吸收)向其他路徑放出的激光光，因此也會存在裝置變大的問題。

本發明是在這種情況下而完成的，其一方式的例示性目的之一為，根據與現有不同的途徑，提供一種抑制了發射不良的激光加工裝置及其激光光源。

用于解決技術課題的手段

本發明的一方式涉及一種激光加工裝置。激光加工裝置具備：激光光源，響應于觸發信號進行振蕩，而產生激光脈沖；光學系統，向對象物照射激光脈沖；及控制裝置，對激光光源輸出觸發信號。激光光源具備：放電電極；直流電源，產生直流電壓；高頻電源，接受直流電壓，在放電電極之間產生高頻電壓；及驅動電路，響應于觸發信號而使高頻電源動作，并且若直流電壓脫離容許范圍，則生成被激活的照射禁止信號。激光加工裝置構成為，在照射禁止信號被激活時不向對象物照射激光脈沖。

根據該方式，對規定施加于放電電極的高頻電壓的振幅的直流電壓進行監視，由此能夠在實際上使激光光源進行振蕩之前推斷發射不良。

驅動電路在照射禁止信號被激活時，可以不使高頻電源動作。由此，在照射禁止信號被激活時，由于能夠防止激光的振蕩，因此能夠抑制不必要的電力，并且抑制發射不良。

控制裝置在照射禁止信號被激活時，可以不輸出觸發信號。由此，能夠防止照射禁止信號被激活時的高頻電源的動作。

容許范圍可以比直流電壓的目標值的±10％小。更優選規定成容許范圍的上限及下限比直流電壓的目標值的±5％小的范圍，也可以進一步優選規定成比目標值的±1％小的范圍。

本發明的另一方式涉及一種激光加工裝置用的激光光源。激光光源是根據來自控制裝置的觸發信號而發光的激光加工裝置用的激光光源，其具備：放電電極；直流電源，產生直流電壓；高頻電源，接受直流電壓，在放電電極之間產生高頻電壓；及驅動電路，響應于觸發信號而使高頻電源動作，并且若直流電壓脫離容許范圍，則生成表示發光禁止的標記信號。

另外，在方法、裝置、系統等之間相互置換以上構成要件的任意的組合或本發明的構成要件和表現的方式也作為本發明的方式有效。

發明效果

根據本發明的一方式，能夠抑制發射不良。

附圖說明